N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第179页
EJM9DC-MB-04E-0 0 NPM-W X/WXS 4-10 -2 4 6 ●使用棉棒。 ■单式传送带时 ●基板检测传感器 投光侧、受光侧各有 6 个 ■双式传送带时 ●基板检测传感器 轨道 1 、 2 的投光侧、 受光侧各有 6 个 5 基台 2 基台 1 基板检测传感器 将供料器工作台盖 倒向内侧 ( → P.2-5) 清扫基板检测传感器部
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 1
4-10-1
1
卸下托盘供料器或
者交换台车
2
3
使传送带宽度为
150 mm
基板传送带
工程师手册
4-10
10
9
安装托盘供料
器或者交换台
车
8
7
OFF SERVO ON
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 请拆下托盘供料器后再作业。(→ P.10-8)
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
安装供料器工作台
盖
(→P.2-5)
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
4-10-2
4
6
●使用棉棒。
■单式传送带时
●基板检测传感器
投光侧、受光侧各有6个
■双式传送带时
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有6个
5
基台2 基台1
基板检测传感器
将供料器工作台盖
倒向内侧(→P.2-5)
清扫基板检测传感器部
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 2
4-10-3
工程师手册
4-10
延长传送带
1
2
3
使传送带宽度为
150 mm
10
9
8
7
安装供料器工作台
OFF SERVO ON
这里对基板检测传感器器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
卸下托盘供料器或
者交换台车
(→P.2-4)
安装托盘供料
器或者交换台
车
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)