N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第180页
EJM9DC-MB-04E-0 0 NPM-W X/WXS OFF SERVO ON 基板检测传感器的清扫 2 4-10 -3 工程师手册 4-10 延长传送带 1 2 3 使传送带宽度为 150 mm 10 9 8 7 安装供料器工作台 OFF SERVO ON 这里对基板检测传感器器的清扫方法进行说明 。 使用工具 : 棉棒 所需时间 : 5 分钟 ( → 『操作手册』 P.3-3-4) ●为了更有利于操作 卸下托盘供料器或 者交换…
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
4-10-2
4
6
●使用棉棒。
■单式传送带时
●基板检测传感器
投光侧、受光侧各有6个
■双式传送带时
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有6个
5
基台2 基台1
基板检测传感器
将供料器工作台盖
倒向内侧(→P.2-5)
清扫基板检测传感器部
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 2
4-10-3
工程师手册
4-10
延长传送带
1
2
3
使传送带宽度为
150 mm
10
9
8
7
安装供料器工作台
OFF SERVO ON
这里对基板检测传感器器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
卸下托盘供料器或
者交换台车
(→P.2-4)
安装托盘供料
器或者交换台
车
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
4-10-4
4
6
5
轨道1
基板检测传感器
(受光侧)
轨道2
基板检测传感器
(投光侧)
轨道1
基板检测传感器
(投光侧)
轨道2
基板检测传感器
(受光侧)
基板检测传感器
(受光侧)
基板检测传感器
(投光侧)
■设置在双式传送带的前工序时的、
传感器的位置
将供料器工作台盖
倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
■设置在单式传送带的前工序时的、
传感器的位置