N7201A706C00(1)NPM-WX engineer - 第257页
EJM8DC-MB-09E-0 0 NPM-W X/WXS 9-2-2 -6
EJM8DC-MB-09E-00NPM-WX/WXS
9-2-2-5
20
21
+
22
+
20
22
21
18
19
模式的
切换
切换的确认 3
工程师手册
9-2-2
(基板支撑块转为下降到原点的状态)
确认提示
伺服开关ON
安装交换台车
(→P.2-4)
EJM8DC-MB-09E-00NPM-WX/WXS
9-2-2-6
EJM8DC-MB-09E-00NPM-WX/WXS
基板传送带的
传送皮带的更换 1
工程师手册
9-3-1
9-3-1-1
1
2
3
OFF
8
部件的
更换方法
9
号码
皮带长度(mm)
型号
A 990 MTNK002606AA
B 1293 MTNK002599AA
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
可动侧
固定侧
双式传送带规格
各轨道上8 条
单 式 传送带规格
8 条
ABA ABA
卸下交换台车
(→P.2-4)
前侧
传送带宽度需要
150~200 mm
(为了更有利于
操作)
(→『操作手册』
P.3-3-4)
对在前侧操作时的基板传送带的传送皮带的更换方法进行说明。
使用工具: 六角扳手 (2 mm) 所需时间: 30~60分钟
卸下皮带
换上新皮带
●往外拔，将其卸下。
●废弃时，使用钳子等切断
后卸下。
●皮带长度的构成，各个轨道、各个规格都为共通。
●请参照各轨道的皮带安装图 (→P.4-6)，将皮带挂到各卷盘上。
●有关皮带的正面、反面
正面: 无印文字
反面裏面: 有印文字
●安装皮带时，使皮带正面为基板传送面。