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2-3 2 1 . 3 대 표 적 인 에 러 와 대 처 방 법 여 기에 서 는 운 전중 에 표 시 되 는 대 표 적인 에 러와 그 대 처방 법을 다 음 과 같 이 나 타 냅 니 다 . ■ 헤 드 • 노 즐 관 련 코 드 에 러 명 칭 과 내 용 E a 0 0 0 9 7 노 즐 인 식 에 러 상 태 화 상 인 식한  결 과 , 부 품 전 극부 의  휘도 가  부 품 식 별  휘도 에 …

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2-2
2
1.2
에러 저가 경고면이 시됩 . 어할 래와 시기
.
1
.
ERRORCLEAR버튼1 버저를OFF 십시오 .
2
인합 .
에러화면의에러내용되므 ,메모법을이용해서인해십시오 .
3
.
ERRORCLEAR버튼러화면을어해십시오 .
4
.
시등의색램프꺼지고 ,조작면의테이터스에리어의왼쪽위의러표시가꺼진것을인해
시오 .
2-3
2
1.3
기에 전중 적인 러와 처방법을 .
Ea00097
식한 ,부품극부휘도휘도도달하지못합니다 .식하고
있습니다 .해당헤드의노즐체크시오 .
원인 전극휘도부품식별도에도달하지니다 .오인식하고있성이있니다 .
대책 해당헤드노즐크하고소해주십시오 .이터식별휘도를조시오 .
Ea00200
교환
노즐기에했습니다 .노테이션의센서를확인하고 ,노즐이션정보드높 , ,위치등
재조정을 십시오 .
원인 노즐테이서불 ,또는테이 , ,X Y 량으생각니다 .
대책 서의 .노즐정보의노즐위치재조십시오 .
Ea00201
노즐격납실했습니다 .노즐테이션의하고 ,테이정보헤드높 , ,
정을십시오 .
원인
노즐테이서의 ,불량또는노즐테이션정보드높 , ,XY 등의량으
노즐격납할수니다 .
대책 노즐테이하고 ,테이정보 ,각도 ,XY 시오 .
Ea00203
음적용노즐이션여러없습니다 .노즐이션센서를확인하고 ,노즐을
션에시오 .
원인 노즐테이불량또는노즐이션있습니다 .
대책 정확션에격납시오 .노즐테이시오 .
Ea00204
계에정인노즐션에없습 .테이정보 ,인해십시오 .
원인 예정노즐노테이보에정되있지 .
대책 노즐테이설정을인해십시오 .
Ea00205
음에서사정인러개니다 .노즐테이서와테이보를인하
.
원인 노즐테이보에2 같은노즐정되있습니다 .
대책 노즐테이보를인해십시오 .
Ea00850
센서가OFF 헤드있습니다 .원인을거해주십시오 .
원인 헤드동헤드되지또는센에러 .
대책 헤드상인해십시오 .
Ea00864
헤드높이가위험위치있어X,Y,R,W 동할니다 .Z 이동거나Z 서가
OFF 로되어있습니다 .
헤드를전한까지이동시오 .
원인 헤드내려와거나서가니다 .
대책 동으Z 려십시오 .
2-4
2
Ea00865
테이션이어서 ,X,Y 축의이동불가능합 .
원인 노즐테이이션되어있니다 .테이션의하센하지않습니다 .
대책
동모노즐이션강시킵니다 .노테이션을내린상태에I/O 모니터를인해 ,서가응하
으면서를해십시오 .
Ea008 71
<<< >>>
. 다 .
-기판고정
- ,장착높이이
-
-헤드하밸브동
-샤프형됨
-강개시후1 이내도달하지
원인
1기판면의위치가 ,센서응하위치까실린더가려오니다 .
2 ,이의너무커 ,서에치까실린더내려니다 .
3서의위치가빠서센서정되지습니 .
4헤드밸브내의피스둔합니다 .
5노즐샤프변형되어있 ,헤드니다 .
대책 상기원인을찾해당원인제거시오 .
Ea00880
I/O 시퀀
시에부압분하내려가지니다 .픽업한태로을성이있으 ,
즐과인하시오 .이런태로계속 ,을태로하거2
등의트러블일으있습니다 .
원인 시에부압분히려가지니다 .태로귀했을성이있습니다 .
대책 [장헤드」탭을 ,즉시이나밸브등시오 .
Ea0265 2
헤드높이가위험위치있어X,Y,R,W 동할니다 .드를전한이까이동시켜
십시 .
원인 헤드높이가위험위치어서X,Y,R,W 동할없니다 .
대책
헤드를전한까지이동시오 . 단겸비한비는헤드 단태를인해
십시 .
Ea02653
험한위치있습 .헤드전한높이까지동시시오 .
원인 원점헤드높이가위험위치있습니다 .
대책 헤드Z 재위치가험한있지은지인해십시오 .
Ea02906
현재장되어있는ANC 노즐결정없습니다 .래의을인하시오 .
1노즐이션서상
원인 되어있ANC 정할니다 .
대책 노즐테이서상태를인해십시오 .