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2-4 2 코 드 에 러 명 칭 과 내 용 E a 0 0 8 6 5 인 터 락 에 러 상 태 노 즐 스 테이 션이 하 강 단 에 없 어서 , X , Y 축의 이동 이 불가 능합 니 다 . 원인 노즐 스 테이 이션 이 상 승 되어 있 습 니다 . 노 즐 스 테이 션의 하 강 단 센 서 가 반 응 하지 않 습니다 . 대책 수 동모 드 로 노즐 스 테 이션…
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1.3 대표적인 에러와 대처방법
여기에서는 운전중에 표시되는 대표적인 에러와 그 대처방법을 다 음과 같이 나타냅니다 .
■ 헤드
•
노즐관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea00097
노즐인식 에러
상태
화상인식한결과 ,부품전극부의휘도가부품식별휘도에도달하지못합니다 .노즐을부품으로잘못인식하고있
을가능성이있습니다 .해당헤드의노즐을체크해주십시오 .
원인 부품전극부의휘도가부품식별휘도에도달하지못합니다 .노즐을부품으로오인식하고있을가능성이있습니다 .
대책 해당헤드의노즐을체크하고청소해주십시오 .부품데이터의부품식별휘도를조정해주십시오 .
Ea00200
노즐교환 에러
상태
노즐빼기에실패했습니다 .노즐스테이션의센서를확인하고 ,노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등의
재조정을하 여주십시오 .
원인 노즐스테이션의센서불량 ,또는노즐스테이션정보의높이 ,각도 ,X Y 좌표의조정불량으로생각됩니다 .
대책 센서의조정 .노즐스테이션정보의노즐위치각도높이를재조정해주십시오 .
Ea00201
노즐 오인식 에러
상태
노즐격납에실패했습니다 .노즐스테이션의센서를확인하고 ,노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등의재
조정을하여주십시오 .
원인
노즐스테이션의센서의불량 ,동작불량또는노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,XY 좌표등의조정불량으로
노즐을격납할수없습니다 .
대책 노즐스테이션센서의동작을확인하고 ,노즐스테이션정보의높이 ,각도 ,XY 좌표등을재조정해주십시오 .
Ea00203
노즐스테이션 상태 에러
상태
다음헤드가적용된노즐스테이션에서여러개의노즐이없습니다 .노즐스테이션센서를확인하고 ,노즐을스테
이션에넣어주십시오 .
원인 노즐스테이션센서의동작불량또는복수의노즐이노즐스테이션에서탈착되어있습니다 .
대책 정확한노즐을스테이션에격납해주십시오 .또는노즐스테이션센서의동작을확인해주십시오 .
Ea00204
노즐스테이션 상태 에러
상태 다음단계에서사용예정인노즐이노즐스테이션에없습니다 .노즐스테이션정보를 ,확인해주십시오 .
원인 사용예정인노즐이노즐스테이션정보에설정되어있지않습니다 .
대책 노즐스테이션정보의설정을확인해주십시오 .
Ea00205
노즐스테이션 상태 에러
상태
다음단계에서사용예정인노즐이여러개있습니다 .노즐스테이션센서와노즐스테이션정보를확인하여주십시
오 .
원인 노즐스테이션정보에2 개의같은노즐이설정되어있습니다 .
대책 노즐스테이션정보를확인해주십시오 .
Ea00850
인터락 에러
상태 하강단센서가OFF 된헤드가있습니다 .원인을제거해주십시오 .
원인 헤드의동작불량으로헤드가상승되지않거나또는센서에러 .
대책 헤드의상하동작을확인해주십시오 .
Ea00864
인터락 에러
상태
헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .Z 축이이동중이거나Z 축안전센서가
OFF 로되어있습니다 .
헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .
원인 헤드가내려와있거나또는센서가고장입니다 .
대책 수동으로Z 축을올려주십시오 .
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코드 에러 명칭과 내용
Ea00865
인터락 에러
상태 노즐스테이션이하강단에없어서 ,X,Y 축의이동이불가능합니다 .
원인 노즐스테이이션이상승되어있습니다 .노즐스테이션의하강단센서가반응하지않습니다 .
대책
수동모드로노즐스테이션을하강시킵니다 .노즐스테이션을내린상태에서I/O 모니터를확인해서 ,센서가반응하
지않으면센서를교환해주십시오 .
Ea008 71
<<< 경고 센서 이상 >>>
헤드의 상하동작이 이상합니다 . 아래의 원인일 수 있습니다 .
상태
-기판의고정이상
-흡착높이 ,장착높이이상
-하강단센서이상
-헤드하강밸브동작이상
-샤프트가변형됨
-하강개시후1 초이내에하강단에도달하지못함
원인
1기판면의위치가너무높아서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .
2장착높이 ,흡착높이의값이너무커서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .
3하강단센서의위치가나빠서센서의반응이안정되지않습니다 .
4헤드하강밸브내의피스톤의동작이둔합니다 .
5노즐샤프트가변형되어있어 ,헤드가상하동작하지않습니다 .
대책 상기의원인을찾아서해당원인을제거해주십시오 .
Ea00880
I/O 시퀀스 부품장착시 진공압체크 에러
상태
부품장착시에부압이충분하게내려가지않습니다 .부품을픽업한상태로돌아갔을가능성이있으므로 ,즉시노
즐과밸브등을확인하여주십시오 .이런상태로자동운전을계속하면 ,부품을흡착한상태로복귀하거나2 중탑
재등의트러블을일으킬가능성이있습니다 .
원인 부품장착시에부압이충분히내려가지않았습니다 .부품을흡착한상태로복귀했을가능성이있습니다 .
대책 ［장치］→「헤드」탭을열어서 ,즉시노즐이나밸브등을확인해주십시오 .
Ea0265 2
인터락 에러
상태
헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주
십시오 .
원인 헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .
대책
헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .하 강단센서를겸비한장비는헤드하 강단센서의상태를확인해주
십시오 .
Ea02653
인터락 에러
상태 헤드의높이가위험한위치에있습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .
원인 원점복귀직후의헤드높이가위험한위치에있습니다 .
대책 헤드의Z 축현재위치가위험한높이에있지않은지확인해주십시오 .
Ea02906
노즐체인지상태 에러
상태
현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .아래의항목을확인하여주십시오 .
1노즐스테이션의센서상태
원인 현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .
대책 노즐스테이션의센서상태를확인해주십시오 .
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■ 컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea00070
기판반송 에러
상태 컨베이어위에규정수량이상의기판이반입되었습니다 .
원인
기판요구신호를보내지않았음에도불구하고 ,상류측에서기판이반입되었습니다 .또는이상한기판을검출했습
니다 .
대책
상류측의반출출구센서또는본장비의반입센서위치조정및기판검출센서입구스톱퍼센서를재조정해주십
시오 .
Ea00074
기판고정 에러
상태 기판반송유니트 ,로케이트핀 ,푸쉬업이정상적으로작동되지않습니다 .
원인 센서의위치조정불량 ,또는스피드컨트롤러를너무조여서동작이불안정합니다 .
대책 기판반송유니트의높이관계센서의동작을확인해주십시오 .
Ea00831
메인스톱퍼 상승 인터락
상태 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .메인스톱퍼를내려주십시오 .
원인 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .
대책 메인스톱퍼를하강시켜주십시오 .
Ea00851
인터락 에러
상태 기판반송기의하강단센서가OFF 입니다 .원인을제거하여주십시오 .
원인 기판반송기가하강상태입니다 .또는센서에러입니다 .
대책 기판반송기의상하동작을확인해주십시오 .
Ea00852
인터락 에러
상태 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼중어느센서가ON 되어있습니다 .원인을제거하 여주십시오 .
원인 센서불량 ,또는액츄에이터동작불량 .
대책 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼등의동작을확인해주십시오 .
Ea07876
명령실행 불능
상태
서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸
쉬업을하강시키고나서 ,다시명령을실행하여주십시오 .
원인 서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .
대책 컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸쉬업을하강시키고나서 ,다시명령을실행하여주십시오