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NPM-D 维修篇 EJM1DC-MB-03M -00 Page 3-1 3. 24 小时检查 [ 日常 ] 在本章中对每 24 小时需检查 1 次 (1 天 1 次 ) 的项目进行说明。

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维修篇
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
Page 2-14 EJM1DC-MB-02M-00
= 备忘录 =

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维修篇
EJM1DC-MB-03M-00 Page 3-1
3.
24
小时检查
[
日常
]
在本章中对每
24
小时需检查
1
次
(1
天
1
次
)
的项目进行说明。

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维修篇
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
Page 3-2 EJM1DC-MB-03M-00
EJM4A-AB01
3.1
调节器装置的检查
[
开始作业时
]
使用工具
六角扳手、扳手
需要时间
[min]
5
请按照如下顺序确认各种压力是否在规定值的范围内。
1
确认主空气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.50 MPa ~ 0.55 MPa
∗
压力不在规定值范围时、请进行下页所记述的
调整操作。
2
确认真空泵供给压力
(
压力表
)
。
∗
请按照下一页所记载的
“
真空泵供给压力
(
压力表
)
的确认方法
”
的步骤进行确认。
∗
压力规定值
:
−
87 kPa ~
−
100 kPa
∗
压力不在规定范围时,请检查连接到设备的真
空泵。
3
确认真空解除压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 8 kPa ~ 12 kPa
∗
当压力不在规定值范围时,请按
“
真空解除压
力不在规定值范围时
”
中所示内容进行调整。
4
确认清扫吹气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.13 MPa ~ 0.14 MPa
∗
当压力不在规定值范围时,请按
“
清扫吹气压
力、线性照相机空气压力不在规定值范围时
”
中
所示内容进行调整。
5
确认线性照相机空气压力
(
压力表
)
。
∗
压力规定值
: 0.3 MPa ~ 0.35 MPa
∗
当压力不在规定值范围时,请按
“
清扫吹气压
力、线性照相机空气压力不在规定值范围时
”
中
所示内容进行调整。
5
2
3
1
4