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NPM-D 维修篇 5.13 基板检测传感器 (NPM-D 传送带 ( 选购件 )) 的清扫 Page 5-44 EJM1DC-MB-05M-00 5.13 基板检测传感器 (NPM-D 传送带 ( 选购件 )) 的清扫 使用工具 棉棒 需要时间 [min] 2 1 将伺服开关置于 OFF 。 2 打开上面盖。 3 使用棉棒清扫基板检测传感器部。 ∗ 基板检测传感器 轨道 1 、 2 的投光侧、受光侧各有 2 个 4 关闭上面盖。 5 …

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NPM-D
维修篇
5.12
基板检测传感器
(
搬送传送带
)
的清扫
EJM1DC-MB-05M-00 Page 5-43
5.12
基板检测传感器
(
搬送传送带
)
的清扫
使用工具
棉棒
需要时间
[min]
5
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1
卸下交换台车。
2
将伺服开关置于
OFF
。
3
打开安全盖。
4
卸下供料器工作台盖。
5
使用棉棒清扫基板检测传感器部。
∗
基板检测传感器
轨道
1
、
2
的投光侧、受光侧各有
5
个
6
安装供料器工作台盖。
7
关闭安全盖。
8
将伺服开关置于
ON
。
9
安装交换台车。
基板检测传感器
NPM-D
维修篇
5.13
基板检测传感器
(NPM-D
传送带
(
选购件
))
的清扫
Page 5-44 EJM1DC-MB-05M-00
5.13
基板检测传感器
(NPM-D
传送带
(
选购件
))
的清扫
使用工具
棉棒
需要时间
[min]
2
1
将伺服开关置于
OFF
。
2
打开上面盖。
3
使用棉棒清扫基板检测传感器部。
∗
基板检测传感器
轨道
1
、
2
的投光侧、受光侧各有
2
个
4
关闭上面盖。
5
将伺服开关置于
ON
。
基板检测传感器
NPM-D
维修篇
5.14
真空空气路径的检查
EJM1DC-MB-05M-00 Page 5-45
5.14
真空空气路径的检查
真空空气路径的检查
(16
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
12
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
8
吸嘴吸
头
(
选购件
))
∗
在此，以
12
吸嘴吸头
(
选购件
)
举例说明，而对
16
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
8
吸嘴吸头
(
选购件
)
也
按照同样作业进行操作。
使用工具
－
需要时间
[min/
基台
]
5
1
将伺服开关置于
ON
。
2
按
<
主菜单
>
的画面的
。
3
按 。
4
按 。
5
选择工作台。
UnitAdjustHeadNozzleChange-03C04
4
5
3
2