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NPM-D 维修篇 5.14 真空空气路径的检查 EJM1DC-MB-05M -00 Page 5-45 5.14 真空空气路径的检查 真空空气路径的检查 (16 吸嘴吸头 ( 选购件 ) 、 12 吸嘴吸头 ( 选购件 ) 、 8 吸嘴吸 头 ( 选购件 )) ∗ 在此， 以 12 吸嘴吸头 ( 选购件 ) 举例说明， 而对 16 吸嘴吸头 ( 选购件 ) 、 8 吸嘴吸头 ( 选购件 ) 也 按照同样作业进行操作。 使用工具 －…
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维修篇
5.13
基板检测传感器
(NPM-D
传送带
(
选购件
))
的清扫
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5.13
基板检测传感器
(NPM-D
传送带
(
选购件
))
的清扫
使用工具
棉棒
需要时间
[min]
2
1
将伺服开关置于
OFF
。
2
打开上面盖。
3
使用棉棒清扫基板检测传感器部。
∗
基板检测传感器
轨道
1
、
2
的投光侧、受光侧各有
2
个
4
关闭上面盖。
5
将伺服开关置于
ON
。
基板检测传感器
NPM-D
维修篇
5.14
真空空气路径的检查
EJM1DC-MB-05M-00 Page 5-45
5.14
真空空气路径的检查
真空空气路径的检查
(16
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
12
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
8
吸嘴吸
头
(
选购件
))
∗
在此，以
12
吸嘴吸头
(
选购件
)
举例说明，而对
16
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
8
吸嘴吸头
(
选购件
)
也
按照同样作业进行操作。
使用工具
－
需要时间
[min/
基台
]
5
1
将伺服开关置于
ON
。
2
按
<
主菜单
>
的画面的
。
3
按 。
4
按 。
5
选择工作台。
UnitAdjustHeadNozzleChange-03C04
4
5
3
2
NPM-D
维修篇
5.14
真空空气路径的检查
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6
按
[
真空输出确认
]
。
7
确认在吸头上没有安装吸嘴。
∗
如果有吸嘴安装，请将其卸下。
8
按操作面板的
+
‘pos1’
的
[
真
空
]
。
•
显示颜色将会由灰色变成淡蓝色，然后变成真
空状态。
9
确认
‘pos1’
的显示为
−
85
以上。
∗
当显示值不为规定值时，请确认真空泵的供给
压
(
“3.1
调节器装置的检查
[
开始作业
时
]”)
，并清扫吸嘴座
(
“4.2
吸嘴座的清
扫
”)
。显示值仍然不为规定值时，请与本社联系。
10
按操作面板的
+
‘pos1’
的
[
真
空
]
。
•
显示颜色将会由淡蓝色变成灰色，并停止真空
状态。
11
请回到步骤
8.
，对每个
pos
进行同样操
作确认真空空气路径。
UnitAdjustHeadAirCheck-01C01
8
6