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NPM-D 维修篇 10.4 双式传送带切换为单轨模式 Page 10-16 EJM1DC-MB-10M-00 6 按 + [ 执行 ] 。 • 基板支撑销将会上升，处于可卸下的 状态。 7 卸下交换台车。 8 将伺服开关置于 OFF 。 9 打开安全盖。 10 卸下供料器工作台盖。 11 在线性照相机上面蒙上棉纱布。 ∗ 防止作业中杂物混入照相机透镜内。 12 取出基板支撑销。 ∗ 请注意不要将灰尘落下及碰撞线性照 相机 (LED 照…

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10.4
双式传送带切换为单轨模式
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10.4
双式传送带切换为单轨模式
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的基板传送带可通过模式的切换，用于双式和单式两种用途。请按以下顺序切换模式。
此外，切换
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主体基板传送带模式时，相邻的
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传送带也会联动切换模式。
切换准备
① 卸下基板支撑销
∗
基板支撑销的卸下作业应在设备前侧进行。
1
按
。
2
按
。
3
按
[
轨道切换
]
。
4
按
[
支撑销取出
]
。
•
显示支撑销取出的画面。
5
按
+ [
更换开始
]
。
DualChangePinUnitChange-10C50
5
DualUnitAdjustConveyorLaneChange-01C50
2
1
3
4
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10.4
双式传送带切换为单轨模式
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6
按
+ [
执行
]
。
•
基板支撑销将会上升，处于可卸下的状态。
7
卸下交换台车。
8
将伺服开关置于
OFF
。
9
打开安全盖。
10
卸下供料器工作台盖。
11
在线性照相机上面蒙上棉纱布。
∗
防止作业中杂物混入照相机透镜内。
12
取出基板支撑销。
∗
请注意不要将灰尘落下及碰撞线性照相机
(LED
照明上
)
。
13
将顺序
11.
中盖在线性照相机上的棉纱
布取下。
14
安装供料器工作台盖。
6
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双式传送带切换为单轨模式
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15
关闭安全盖。
16
将伺服开关置于
ON
。
17
安装交换台车。
18
按
+ [
更换完成
]
。
19
按
+ [
执行
]
。
•
基板支撑块下降到原点。
DualChangePinUnitChange-26C50
18
19