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NPM-D 维修篇 11.1 基板搬送皮带的更换 Page 11-2 EJM1DC-MB-11M -00 11.1 基板搬送皮带的更换 在定期检查中出现异常时，请按照以 下顺序交换基板搬送带。 ∗ 维 护作业时有必要卸下供料器工作台 盖和交换台车 ( 选购件 ) 。 ( “2.2 交换台车 ( 选购件 ) 的拆卸和安装、 2.3 供料器工作台盖的拆卸和安装 ”) ∗ 设 备的规格为托盘供料器规格的情况 下，在维修作业时需要卸下 托盘供料…
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11.
消耗零件的更换
在本章中，对消耗零件的更换方法进行说明。
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11.1
基板搬送皮带的更换
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11.1
基板搬送皮带的更换
在定期检查中出现异常时，请按照以下顺序交换基板搬送带。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
∗ 设备的规格为托盘供料器规格的情况下，在维修作业时需要卸下托盘供料器
(
选项
)
。
(
“
安装篇
1.5
连接托盘供料器
”)
∗ 本作业请在双轨模式下进行。
(
“10.4
双式传送带切换为单轨模式
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1
将电源开关置于
OFF
。
2
松开板的螺栓挪动板。
∗
使用六角扳手，松开板上的螺栓，挪动板。
∗
请不要拆下板。
螺栓
板
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11.1
基板搬送皮带的更换
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3
拉拽皮带将其拆下。
4
换上新皮带。
∗
请参照左图，将皮带安装到各皮带轮上。
上图的号码 皮带长度[mm]
c
1980
5
固定板。
∗
用六角扳手拧紧螺栓，将板固定到原来的位置。
c
轨道
1
c
轨道
2
板