松下NPM-D3配件手册partlist_0FB38 - 第175页
25 キットリスト KIT LIST Kit Name 番号 Part No. キット名 品番 No. Rank Q't y 数量 ﾗﾝｸ 頁 Page 89 N610095857AB MULTIFUNCTIONAL TRAN SFER UNIT:NPM 汎用型転写ユニット(メカ):NPM 1 O 30 9 90 N610102174AA MULTIFUNCTIONAL TRAN SFER UNIT(H) 汎用型転写ユニッ…
25
キットレイアウト
KIT LAYOUT
U49
( KEJM6DS-15-25 )
25
キットリスト
KIT LIST
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品番
No.
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
89
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
1
O309
90
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
1
O329
91
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
1
O331
92
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ0-250μm/目盛10μm
1
O333
93
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ0-500μm/目盛20μm
1
O335
U50
26
キットレイアウト
KIT LAYOUT
U51
( KEJM6DS-15-26 )