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NPM- TT2 EJM1EC-MB-06M-03 在以下对基板传送带、延长传送带的 基板检测传感器的清扫方法 进行说明。 使用工具 : 棉棒 ( MTNZ 001268AA) 所需时间 : 基板传送 带需要 8 分钟、延长传送带 需要 3 分钟。 注意 维护周期设定为 560 个小时，但是根据客户所拥有设备的设置环境以及 生产的基板、生产运转状况 等各种 条件的不同，有时最佳维护周期会发 生变化。 另外，如果在基板检测传感器脏污的 状…

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NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
在以下对基板传送带、延长传送带的基板检测传感器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒(MTNZ001268AA)
所需时间:基板传送带需要8分钟、延长传送带需要3分钟。
注意
维护周期设定为560个小时，但是根据客户所拥有设备的设置环境以及生产的基板、生产运转状况等各种
条件的不同，有时最佳维护周期会发生变化。
另外，如果在基板检测传感器脏污的状态下持续使用设备，不仅会导致难以正常检测，而且也不易去除脏
污，从而造成维护需要时间。
请按照符合客户设备使用状况的适当维护周期，对基板检测传感器进行清扫。
用于清扫基板检测传感器(透过型)的棉棒，请使用以下的精密机械用的工业用棉棒。
请注意，如果使用其他的棉棒，有可能无法充分对基板检测传感器实施清扫。
另外，关于基板检测传感器(反射型)的清扫，无论使用通常的市面出售棉棒还是工业用棉棒都能够充分做到
清扫。
注意
型号 品号 备注
HUBY340 BB-013FL (2 500根)
MTNZ001268AA
2 500根装 (25根装×100袋)
使用指定外棉棒进行清扫时 使用指定棉棒进行清扫时
棉棒无法碰触到检测面，因此不
能进行充分的清扫。
棉棒碰触到检测面，因此能够进
行充分的清扫
基板检测传感器的清扫 1
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维修保养篇
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使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)
所需时间:8分钟
基板传送带 1
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查
将传送带宽度调整
为150 mm(为了更
有利于操作)
(→ 『操作篇』P.2-5-4)
卸下托盘供料器或
者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
顺序
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