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NPM- TT2 EJM1EC-MB-06M-03 基板传送带 3 6-9 -5 5 基板检测传感器的清扫 3 维修保养篇 6-9 安装托盘供料器或 者交换台车 ●托盘供料器时 (→P.14 -8) ●交换台车时 (→P.3- 2)
NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
4
清扫基板检测传感器部
●基板检测传感器(透过型)的清扫，请用棉棒尖端碰触检测部后，如下图所示移动棉棒清除附
着物。
●在作业时，建议握持棉棒的尖端
附近。
【单型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒进行清扫。
【双型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒后进行清
扫。请对左右双方的检测
部都进行清扫。
●将清扫的检测部移动到左
右时，请通过手感确认中
央部的高度差。
检测部
检测部中央的高度差部
请用棉棒的尖端部 (1 mm左右)蘸上水后再进行清扫。
如果使用干燥的棉棒，有时将无法完全去除附着物。
注意
顺序
5
6-9-4
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
●基板检测传感器(反射型)的清扫，请用棉棒尖端碰触检测部后，如下图所示移动棉棒清除附
着物。
检测部
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基板传送带 3
6-9-5
5
基板检测传感器的清扫 3
维修保养篇
6-9
安装托盘供料器或
者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
延长传送带(选购件)1
3
2
OFF
SERVO
1
6-9-6
使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)、六角扳手(3 mm)
所需时间:3分钟
将传送带宽度调整
为150 mm(为了更
有利于操作)
(→『操作篇』P.2-5-4)
卸下上面的安全
盖
●螺栓的位置参阅顺序 。
4
●使用六角扳手拧松安全盖
部的螺栓并卸下。
顺序
4
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查