FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C - 第126页
第1部 基本篇 第2章 生产 2-21 2-4-3 运行内容 预热运行期间，显示下列画面。 图 2-4-3-1 运行中的画面 选择对象后，开始运行下列预热内容。 表 2-4-3-1 预热运行内容 运行对象 运 行 内 容 轴 运行 XYZ θ 轴马达、真空·吹气、CAL 块（真空·照明） 、信号灯、ATC 滑板 预热。 但 ATC 滑板动作在反复开、关 10 次后自动结束。 传送 运行传送马达、支撑台、 基板宽度调整、止动销、外形基准气…
第1部 基本篇 第2章 生产
2-20
* 下列速度设置及顺序设置功能，只限修理工程师以上的用户级别才可操作。
（5）设置速度（修理工程师级别以上）
设置轴的运行速度。
速度从 [速度 1]、[速度 2] 、[速度 3]、 [速度 4]、[速度 5]、[速度 6] 、[速度 7]、 [速
度 8]、 [速度 9]、 [速度 10]中选择。（初始设置为[速度 4]）
* 在寒冷地区长时间不使用设备的情况下，预热请设置为速度 4。
（6）设置顺序（修理工程师级别以上）
从“对角·四角·模拟生产”中选择预热的顺序。
（7）设置速度变化（修理工程师以上）
对预热执行中是否要变化速度进行设置。
在现状下设定此项目，只能在一定速度下运行。
第1部 基本篇 第2章 生产
2-21
2-4-3 运行内容
预热运行期间，显示下列画面。
图 2-4-3-1 运行中的画面
选择对象后，开始运行下列预热内容。
表 2-4-3-1 预热运行内容
运行对象 运 行 内 容
轴 运行 XYZ
θ
轴马达、真空·吹气、CAL 块（真空·照明）、信号灯、ATC 滑板
预热。
但 ATC 滑板动作在反复开、关 10 次后自动结束。
传送 运行传送马达、支撑台、基板宽度调整、止动销、外形基准气缸等。但止动
销、外形基准气缸的动作，在反复 ON、OFF 4 次后，自动结束。
画面上显示如下内容
表 2-4-3-2 进行预热时的画面
项 目 内 容
设置内容 显示初始画面上设定的时间、次数或温度。
温度 显示目前的运行时间、运行次数或目前温度。
总运行信息 显示迄今为止执行预热的总时间和次数。
在设备运行信息画面上，可以取消旧数据。
初始画面上设置的
时间/次数／温度
总运行信息
迄今为止实行预热
的总时间／次数
现在的实行
的时间／次
数／温度
第1部 基本篇 第2章 生产
2-22
按<STOP>开关、或按画面上的“停止”按钮后，会出现对话框，要求确认是否结束预热。
选择<确定>：在确认对话框上选择<确定>时为停止预热，回到初始画面。再启动预热时，
无需清空原设定的时间或次数即可继续运行。
但若要把时间改为次数、次数改为时间，则原预热的运行时间累计或次数累
计记录会被清空。
选择<取消>：重启预热。