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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-3 1 ） 在压力表上确认压力为 –90 ～ -95kPa。 2） 压力较低时，需要更换消耗零件。 请按照下面的“检查、更换真空泵零件”进行消耗零件的检查、更换。 压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起的。 ＜消耗零件列表＞ 更换零件组货号： 40068178 检查位置 使用数量 检查内容 检查方法 吸气阀防干扰橡胶 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检 吸、排气阀 12 有无变形、硬化、欠缺…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-2
3-2 各部分的检查
1) 在压力表上确认压力为 0.45Mpa ～ 0.55Mpa。 3) 若是排水管连接的瓶内存了水、
油，请倒干净。
2) 若压力值不在上述范围内，
请检查工厂内是否有空气泄漏，如果没
有异常，请按“调整方法”重新调整压力。
1) 打开旋钮①。
1)
检查项目
・
3-2-1 气压
实施频度 ：每天
检查内容 确认初压，检查排水管
调整方法 调整初压
检查･更换 更换过滤器零件 更换标准 ： 2 年
打开状态 关闭状态
①
②
フィルタエレメント A
PF901002000
フィルタエレメント B
PF901006000
樹脂部品
スライド部
在开始作业前，请关闭指状阀的旋纽。
注
意
2) 向下拉“调节器旋钮②”，旋转旋钮，把
使用的空气压力调整为 0.5MPa。
1) 更换大约间隔：每2年更换1次。或压力下降约
0.1Mpa（1kgf／C㎡）时。
2) 更换方法
① 边降下滑动部分，边将主体向左右任意一侧旋转
45度，然后抽出。
② 拆卸过滤器零件B：将固定过滤器零件B的树脂零
件向左旋转，
拆卸过滤器零件 A：将过滤器零件 A 本身向左旋转
后拆下。
③按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
*选购件过滤器的更换步骤，请参见下一页。
过滤器零件 A
过滤器零件 B
树脂零件
滑动部
瓶内存了水、油，请
倒干净。
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-3
1） 在压力表上确认压力为 –90 ～ -95kPa。
2） 压力较低时，需要更换消耗零件。
请按照下面的“检查、更换真空泵零件”进行消耗零件的检查、更换。
压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起的。
＜消耗零件列表＞ 更换零件组货号：40068178
检查位置 使用数量 检查内容 检查方法
吸气阀防干扰橡胶 4
有无变形、磨损、硬化、龟裂等
目检
吸、排气阀 12
有无变形、硬化、欠缺
目检
排气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
皮碗垫圈
CUP PACKING
4
有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
垫圈 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
真
空
泵
内
部
吸气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
尼龙管 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检 外
部
消声器 1 有无变形、硬化、龟裂等 目检
检查项目
・
3-2-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容 确认真空压力
检查･更换 检查、更换真空泵零件
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换标准：1 年
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-4
○准备更换
1） 请确认真空泵①没有运转。
（刚停止运行后温度很高，请注意）
2） 请打开后侧正面的开关盖。
3） 拆下连接真空泵的空气管，
用六角扳手拆下②的泵支撑架。
4） 从主机里拉出真空泵。
（拉出时请注意连接线。）
5） 打开接线盒的盖子，拆除连接到
接线柱上的电线③。
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的
内六角螺丝 M6×L16。
7） 请拆下把手和面板。
请将泵纵向放置，使要更换的贴片头向上。
①
②
③