FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C - 第302页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3-8 1) 请检查红色标示（堵塞标记）是否上升。 2) 如有堵塞现象，请更换过滤器零件。 1) 拆下①、②的 4 根螺丝。 2) 卸下③的 4 根螺丝。 3) 更换新的过滤器零件、O 环、垫圈。 4) 按拆卸时的逆向步骤重新安装好。 检查项目 ・ 3-2-3 选购项过滤器 实施频度 ： 每天 检查内容 检查选购项过滤器脏污 检查 ･ 更换 更换选购项过滤器零件 更换标准： ２年 ② ① O リング…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-7
○气缸各种零件的拆除、更换方法
1） 请拧松固定排气阀压板的 M3×L5 盘头小
螺丝。
2） 请拆除排气阀压板、排气阀支撑、排气阀。
5） 请拆除头盖的垫圈，清洗头盖。
清洗后请吹干，并更换新的垫圈
6） 请将棉纱沾上洗净液，仔细地对气缸所有部分进行脱脂。
7） 更换各消耗零件，请对照标记按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
另外，请用 8N
・
m 把固定头盖的 M6 螺丝拧紧。
3） 请拧下固定吸气阀压板的 M3×L5 盘头小螺
丝。
4） 请拆除吸气阀压板、吸气阀支撑、吸气阀。
皮碗垫圈
吸气阀防干扰橡胶
吸气阀
吸气阀支撑
排气阀支撑
排气阀
垫圈
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-8
1) 请检查红色标示（堵塞标记）是否上升。
2) 如有堵塞现象，请更换过滤器零件。
1) 拆下①、②的 4 根螺丝。
2) 卸下③的 4 根螺丝。 3) 更换新的过滤器零件、O 环、垫圈。
4) 按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
检查项目
・
3-2-3 选购项过滤器
实施频度 ： 每天
检查内容 检查选购项过滤器脏污
检查･更换 更换选购项过滤器零件 更换标准： ２年
②
①
O リング
ガスケット
フィルタエレメント
(PF901007000)
③
O环
垫圈
过滤器零件
(PF901007000)
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-9
1) 请确认没有漏气
1) 主机接通电源后，请选择“手动控制”项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② 夹杆 Y
③ ATC 单元
✎
手动控制 ✎
在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。
有关手动控制的详细内容，请参见“第 8 章 手动控制”。
2) 如若动作有问题，请参考下页“管道系统图”进行检查。
检查项目
・
3-2-4 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
・
3-2-5 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容 检查各气缸的动作
检查漏气
＜右側面奥側＞
フィンガバルブ
＜右侧深处＞
指状阀
在功能栏上选择“手动控
制”后，启动手动控制。