FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C - 第478页
第1部 基本编 第4章 制作生产程序 4-148 ③ 请设定检出框。 请用 8 个方向按钮，调整上面、左面、下面、右面(按照顺序输入)，设置刻度框。 按下移动速度的[低速]按钮、[高速]按钮，可切换刻度框的移动速度。 此时，将自动识别标记，取得校正所需数据。 在画面中显示如下提示信息。 在画面中显示如下提示信息。 在画面中显示如下提示信息。 自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示摄像机映像。 在画面中显示如下提示信息。 请用上下方向按钮…
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
4-147
②请按功能栏的“示教”按钮。
按功能栏的“示教”按钮后，会显示图像示教画面。
图 4-5-2-3-1-2 图像示教画面
开始进行示教，钳夹基板的站点后侧的摄像机会移动到标记的 XY 坐标，画面上显示出示教对象(记
忆对象)的模式图形（Pattern）。
※如若在入口侧站点和出口侧站点都钳夹了基板时，则以入口侧优先，该站点后侧
的摄像机会移动到标记坐标。
※当画面上没有想要示教的模式图形（Pattern）时，请检查输入的坐标是否正确。
※如系陶瓷基板的标记(为白色标记时)，此后请按下选择装置的摄像机按钮。可切换
极性（对比度），相对于基板原来显得较黑的标记会变成较白的映像。使用摄像机
按钮切换极性，仅在刻度框输入时有效。
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
4-148
③ 请设定检出框。
请用 8 个方向按钮，调整上面、左面、下面、右面(按照顺序输入)，设置刻度框。
按下移动速度的[低速]按钮、[高速]按钮，可切换刻度框的移动速度。
此时，将自动识别标记，取得校正所需数据。
在画面中显示如下提示信息。
在画面中显示如下提示信息。
在画面中显示如下提示信息。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示摄像机映像。
在画面中显示如下提示信息。
请用上下方向按钮（XY移动上下按钮）调整，使标记清晰可见，把周围的干扰降低到最低。
调整结束后请按下“OK”按钮。
显示摄象机图像和长方形框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整后按下“OK”按钮。
同样的，设定下面及右面的刻度框。
调整后按下“OK”按钮。
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● 当标记识别不稳定时，请按下照明条件设定按钮，设置照明模式。
请在指定测量框的左上方之前，先设置照明模式。
图 4-5-2-3-1-3 设置照明条件
照明模式 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用此模式。
阻剂/保护胶片照明 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用此模式。
用户定义照明
当上述 2 种模式的情况下，标记的反射均不佳，识别不稳
定时，直接设定垂直、角度照明的光量时使用此模式。
选择用户定义时，要直接输入照明值。请选择“角度照明”或“垂直照明”按钮，
在编辑框里输入数值，或按“+”、“-”按钮变更数值。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时，按下[NEXT]按钮即可以
略过③的操作。
在此情况下，新识别标记时，[NEXT]按钮无效。