FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C - 第479页
第1部 基本编 第4章 制作生产程序 4-149 ● 当标记识别不稳定时，请按下照明条件设定按钮， 设置照明模式 。 请在指定测量框的左上方之前，先设置照明模式。 图 4-5-2-3-1-3 设置照明条件 照明模式 处理 标准照明 识别通常的基板标记时使用此模式。 阻剂/保护胶片照明 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳， 识别不稳定时使用此模式。 用户定义照明 当上述 2 种模式的情况下，标记的反射 均不佳，识别不稳 定时…
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
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③ 请设定检出框。
请用 8 个方向按钮，调整上面、左面、下面、右面(按照顺序输入)，设置刻度框。
按下移动速度的[低速]按钮、[高速]按钮，可切换刻度框的移动速度。
此时，将自动识别标记，取得校正所需数据。
在画面中显示如下提示信息。
在画面中显示如下提示信息。
在画面中显示如下提示信息。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示摄像机映像。
在画面中显示如下提示信息。
请用上下方向按钮（XY移动上下按钮）调整，使标记清晰可见，把周围的干扰降低到最低。
调整结束后请按下“OK”按钮。
显示摄象机图像和长方形框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整后按下“OK”按钮。
同样的，设定下面及右面的刻度框。
调整后按下“OK”按钮。
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
4-149
● 当标记识别不稳定时，请按下照明条件设定按钮，设置照明模式。
请在指定测量框的左上方之前，先设置照明模式。
图 4-5-2-3-1-3 设置照明条件
照明模式 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用此模式。
阻剂/保护胶片照明 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用此模式。
用户定义照明
当上述 2 种模式的情况下，标记的反射均不佳，识别不稳
定时，直接设定垂直、角度照明的光量时使用此模式。
选择用户定义时，要直接输入照明值。请选择“角度照明”或“垂直照明”按钮，
在编辑框里输入数值，或按“+”、“-”按钮变更数值。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时，按下[NEXT]按钮即可以
略过③的操作。
在此情况下，新识别标记时，[NEXT]按钮无效。
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④ 请选择标记的形状。
在画面中显示如下提示信息。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用上下方向按钮选择正确的标记。
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[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检出框的示教。
完成④的操作后，会自动显示标记尺寸 1.5 倍大的窗口，与画面中心一致(默认窗口)。
要改变检出框时，请进行与步骤③相同的操作。
在此，如果按下“Previous”按钮，可返回检出框的示教(③的操作)。
按与刻度框同样的方式来设定检出框。
设置方法，与刻度框相同。
调整完成后按下“OK”按钮。