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第1部 基本编 第4章 制作生产程序 4-161 ④ 请选择标记形状。 在画面中显示如下提示信息。 设置标记判定，选择 PR 。 请用上下方向按钮将*标记对准 PR 的位置，然后按下“OK”按钮。 模板的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)。 当模板过大时，会显示错误并返回③。 ⑤ 进行模板画面重心示教。 在画面中显示刻度框和十字光标。 用 8 个方向按钮移动十字光标， 决定模板的重心(该位 置与基板数据的标记坐标一…
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
4-160
● 当标记识别不稳定时，请按下照明条件设置按钮，设置照明模式。
请在指定测量框的左上方前，设置照明模式。
图 4-5-2-3-2-3 设置照明模式
照明模式 处 理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片照明 在标记上有阻剂/保护胶片，标准照明时标记反射不佳，识
别不稳定时使用。
用户定义照明
当上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直
接设定垂直、角度照明的光量时使用。
在选择了用户定义时，需要直接输入照明值。请选择“角度照明”或“垂直照明”
按钮，在编辑框里输入数值，或按“+”、“-”按钮变更数值。
※选择用户定义照明模式时，一般设置在50～200之间。设置50 以下时，
有时光量不稳定。
与标记相关的信息相同，仅需要对检出框进行重新示教时，按下[NEXT]按钮，即
可略过③的操作。
此时，新识别标记时，[NEXT]按钮无效。
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
4-161
④ 请选择标记形状。
在画面中显示如下提示信息。
设置标记判定，选择 PR。
请用上下方向按钮将*标记对准 PR 的位置，然后按下“OK”按钮。
模板的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)。
当模板过大时，会显示错误并返回③。
⑤ 进行模板画面重心示教。
在画面中显示刻度框和十字光标。
用 8 个方向按钮移动十字光标，决定模板的重心(该位
置与基板数据的标记坐标一致)。
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
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⑥ 请进行检出框的示教。
完成⑤的操作后，自动显示按⑤的操作设置的框尺寸 1.5 倍的窗口，与画面中心一致(默认窗口)。
要改变检出框时，请执行与③的步骤相同的操作。
当不需要改变检出框时，仅按下“OK”按钮即可。
此时，如果按下“Previous”按钮，可以返回刻度框的示教(③的操作)中。
与刻度框同样，设定检出框。
设定方法与刻度框的设定方法相同。
虚线部分为模板设定框，实际上不显示。
调整完成后按下“OK”按钮。