FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C - 第499页
第1部 基本编 第4章 制作生产程序 4-169 (1) 操作 图 4-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作 1) 传送动作 选择传送动作。可选择搬入、搬出基板、释放基板、重夹。 启动时（默认）选择“搬入” 。 2) 运行站点 可选择执行传送动作的站点。 默认选择入口站点。 3) 搬入后的 BOC 校准设置 选择基板刚搬入后是否立即执行 BOC 校准。 ● “按选项执行” 按照操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。 ● “必须…
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
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4-5-4-1 传送
4-5-4-1-1 基板控制
可进行基板的搬入、搬出。选择菜单后，如果安全盖在打开的状态，为了将轴移动到安全位
置等待，会显示如下信息。
请确认安全后，按下“继续”按钮。
图 4-5-4-1-1-1 确认安全
将轴移动到安全位置等待后，会显示下列基板传送画面。
图 4-5-4-1-1-2 基板传送
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
4-169
(1) 操作
图 4-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作
1) 传送动作
选择传送动作。可选择搬入、搬出基板、释放基板、重夹。
启动时（默认）选择“搬入”。
2) 运行站点
可选择执行传送动作的站点。
默认选择入口站点。
3) 搬入后的 BOC 校准设置
选择基板刚搬入后是否立即执行 BOC 校准。
● “按选项执行”
按照操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
● “必须执行”
必须进行 BOC 标记识别。
● “不执行”
不执行 BOC 标记识别。
4) 基板基准、传送方向
显示传送道路信息。
(2) 显示传送动作
图 4-5-4-1-1-4 基板传送画面 显示传送动作
以图形化显示设定的传送动作，以及在操作站点传送状态的变化。
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(3) 状态
逐项显示当前的基板传送内容及动作状况。
图 4-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态
·按< START >开关或“执行”按钮进行传送。
·要结束操作时，请按“关闭”按钮。
·在传送过程中因某种原因想取消操作时，可按< STOP >开关停止。