FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C - 第696页
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制 8-18 8-4 传送系统 8-4-1 传送控制 依次从下拉菜单中点击“传送系(C)”-“ 传送控制(V)” 、或点击命令按钮中的“传送控制”后， 可显示传送控制画面。 图 8-4-1-1 传送控制画面 (1) 传送马达/传感器 在传送控制画面的上方，通过图形方式显示传送马达/传感器现在的状态。 将光标置于画面的传感器上，可显示相应的提示信息。 图 8-4-1-2 传送传感器/马达处于 ON…
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
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状态 说明
104
图像检查领域错误。
105
图像检查失败。
图像检查参数的比较失败。
106
出现在目前指定的“错误级别”中没有定义的错误。
需要改变“错误级别”。
107
OFAL 模块在没有初始化的状态下试图执行传感器功能。
108
异步命令的传送信号失败。
109
SWEEP 的识别处理未结束。
110
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
111
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
112
虽没有处于专属状态，但系统仍执行解除专属状态的处理。
113
因其他原因测量异常结束。
114
保存在 MSP 内的 COR(吸嘴旋转中心的位置)异常。
表 8-3-3-10-2 边缘检查结果
表示项目 说明
平均亮度
相应 Head 的激光能级的平均值。
标准偏差
各象素的实际激光能级的值和原来能级值之间的差的偏差值。此偏差值
越大，表示激光存在脏污或激光单元异常的可能性越大。
最小亮度
显示亮度最低的传感器的亮度和所在位置。
边缘检查
显示执行边缘检查时的最高边缘检查值及其所在的位置。
边缘检查状态
显示边缘检查的执行结果。
状态 1:正常。
状态 0:边缘检查异常。
请通过边缘检查画面确认激光脏污。
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8-4 传送系统
8-4-1 传送控制
依次从下拉菜单中点击“传送系(C)”-“ 传送控制(V)”、或点击命令按钮中的“传送控制”后，
可显示传送控制画面。
图 8-4-1-1 传送控制画面
(1) 传送马达/传感器
在传送控制画面的上方，通过图形方式显示传送马达/传感器现在的状态。
将光标置于画面的传感器上，可显示相应的提示信息。
图 8-4-1-2 传送传感器/马达处于 ON 状态(传动方向从左至右)
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其他传感器如下表所示。
表 8-4-1-1 其他传感器
No. 显示项目 显示图 表示内容
1 外形基准气缸
外形基准气缸处于 OFF 状态。
外形基准气缸处于 ON 状态。
2 支撑台挡块(CE 机)
支撑台挡块处于 OFF 状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
3 支撑台原点传感器
支撑台处于 OFF 状态。
支撑台处于 ON 状态。
4 传送挡块干涉传感器
传送挡块干涉传感器处于 OFF 状态。
传送挡块干涉传感器处于 ON 状态。
5
准备搬入
（Ready In ）
准备搬出（Ready Out ）
准备搬入、准备搬出处于 OFF 状态。
准备搬入、准备搬出处于 ON 状态。
6
能搬出基板 IN（Board
Available In）
能搬出基板 OUT
（Board Available Out）
能搬出基板 IN/OUT 处于 ON 状态。
能搬出基板 IN/OUT 处于 OFF 状态。
7 停止挡销
停止挡销处于 OFF 状态。
停止挡销处于 ON 状态。
(2) 控制对象选择按钮(Tab)
可选择控制对象。
按下按钮后的显示内容、处理内容在以下的小项中作介绍。