FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C - 第711页
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制 8-33 8-6-4 真空泵控制 从下拉菜单中点击“其他(O)”-“真空泵控制(P)” ，或点击命令按钮中的“真空泵控制”后 ，可 显示真空泵控制画面。 图 8-6-4-1 真空泵控制画面
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
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8-6-3 校准台控制
从下拉菜单中点击“其他(O)”-“校准台控制(C)”，或点击命令按钮中的“校准台控制”后，可
显示校准台控制画面。
图 8-6-3-1 校准台控制画面
(1) 控制项目
通过单选按钮选择控制项目。
(2) 控制按钮
控制 LED 和真空的 ON 或 OFF。
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
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8-6-4 真空泵控制
从下拉菜单中点击“其他(O)”-“真空泵控制(P)”，或点击命令按钮中的“真空泵控制”后，可
显示真空泵控制画面。
图 8-6-4-1 真空泵控制画面
第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
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8-6-5 其他传感器
从菜单中点击“其他(O)”-“其他传感器(O)”，或点击命令按钮中的“其他传感器”后，可显示
其他传感器画面。
图 8-6-5-1 其他传感器画面
(1) 状态的显示
显示各传感器的状态。
各值均为最新状态值。