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第 2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制 8-34 8-6-5 其他传感器 从菜单中点击“其他(O)”-“其他传感器(O )” ,或点 击命令按钮中的“其他传感器”后,可显示 其他传感器画面。 图 8-6-5-1 其他传感器画面 (1) 状态的显示 显示各传感器的状态。 各值均为最新状态值。

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2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
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8-6-4 真空泵控制
从下拉菜单中点击“其他(O)”-“真空泵控制(P)”,或点击命令按钮中的“真空泵控制”后,可
显示真空泵控制画面。
8-6-4-1 真空泵控制画面
2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
8-34
8-6-5 其他传感器
从菜单中点击“其他(O)”-“其他传感器(O)”,或点击命令按钮中的“其他传感器”后,可显示
其他传感器画面。
8-6-5-1 其他传感器画面
(1) 状态的显示
显示各传感器的状态。
各值均为最新状态值。
2 部 功能详细编 第 8 章 手动控制
8-35
8-6-6 驱动器状况
从下拉菜单中点击“其他(O)”-“驱动器状况(D)”,或点击命令按钮中的“驱动器状况”后,可
显示驱动器状况画面。
8-6-6-1 驱动器状况画面
(1) (各送料器台架、各 Head)当前的位置坐标
显示各轴的现在位置的坐标和旋转角度。
(2) 警报信息,传感器信息
点击“系统警报”“轴警报”“传感器信息”“轴返回位置信息”时的处理内容在后面
的项目中做说明。