PTS-NXT2-01JE - 第13页
CONT ENT S 2MII-B ASE… ……… ……… ……… ……… ……… …… ……… ……… ……… … … 16 2MI I-ベ ース… ……… ……… ……… ……… ……… ……… ……… …… … 16 2M,2MI I-BAS ECONT ROLBO X…… ……… ……… ……… ……… ……… ……… … … 44 2M,2 MII -ベース- コント ロール BO X………… … ……… ……

XSLIDE X-スライド
M3II-XSLIDE……………………………………………………………
…
238 M3II-Xスライド………………………………………………
…
238
M6II-XSLIDE……………………………………………………………
…
250 M6II-Xスライド………………………………………………
…
250
YSLIDE Y-スライド
M3II-YSLIDE……………………………………………………………
…
262 M3II-Yスライド………………………………………………
…
262
M6II-YSLIDE……………………………………………………………
…
270 M6II-Yスライド………………………………………………
…
270
DEVICEBASE デバイスベース
M3S,M3II-DEVICEBASE…………………………………………………
…
278 M3S,M3II-デバイスベース……………………………………
…
278
M3II-DEVICEPALLETGUIDE……………………………………………
…
284 M3II-デバイスパレットガイド………………………………
…
284
M6II-DEVICEBASE………………………………………………………
…
286 M6II-デバイスベース…………………………………………
…
286
M6II-DEVICEPALLETGUIDE……………………………………………
…
292 M6II-デバイスパレットガイド………………………………
…
292
WASTETAPEPROCESSINGUNIT 残テープ処理ユニット
M3S,M3II-WASTETAPEPROCESSINGUNIT……………………………… 294 M3S,M3II-残テープ処理ユニット……………………………
…
294
M3II-WASTETAPEPROCESSINGUNITATTACHMENTS…………………… 298 M3II-残テープ処理ユニットダクト………………………
…
298
M6S,M6II-WASTETAPEPROCESSINGUNIT……………………………… 302 M6S,M6II-残テープ処理ユニット……………………………
…
302
M6II-WASTETAPEPROCESSINGUNITATTACHMENTS…………………… 306 M6II-残テープ処理ユニットダクト………………………
…
306
MCU--MODULECHANGEOVERUNIT--…………………………………………………
…
310 MCU--モジュール交換台車--……………………………………………
…
310
PANELSTAND…………………………………………………………………………
…
334 パネルスタンド……………………………………………………………
…
334
SPLICINGTAPESTAND………………………………………………………………
…
336 スプライシングテープスタンド…………………………………………
…
336
MSU--MODULESTORAGEUNIT--……………………………………………………
…
340 MSU--モジュール置き台--………………………………………………
…
340
OTHERS…………………………………………………………………………………
…
344 その他 ……………………………………………………………………
…
344

CONTENTS
2MII-BASE…………………………………………………………………………
…
16 2MII-ベース………………………………………………………………
…
16
2M,2MII-BASECONTROLBOX………………………………………………………
…
44 2M,2MII-ベース-コントロールBOX…………………………………
…
44
4MII-BASE…………………………………………………………………………
…
54 4MII-ベース………………………………………………………………
…
54
EXTERNALVACUUMPUMP……………………………………………………………
…
82 増設バキュームポンプ……………………………………………………
…
82
BASELINKINGPARTS………………………………………………………………
…
84 ベース連結部品……………………………………………………………
…
84
M3II-SINGLECONVEYOR……………………………………………………………
…
86 M3II-シングルコンベア…………………………………………………
…
86
M3II-DOUBLECONVEYOR……………………………………………………………
…
108 M3II-ダブルコンベア……………………………………………………
…
108
M6II-SINGLECONVEYOR……………………………………………………………
…
136 M6II-シングルコンベア…………………………………………………
…
136
M6II-DOUBLECONVEYOR……………………………………………………………
…
158 M6II-ダブルコンベア……………………………………………………
…
158
SOFTBACK-UPPINS…………………………………………………………………
…
188 ソフトバックアップピン…………………………………………………
…
188

CONTENTS
DEVICEPALLET デバイスパレット
M3II-DEVICEPALLET……………………………………………………
…
16 M3II-デバイスパレット………………………………………
…
16
M3II-DEVICEPALLET(PALLETWITHBUCKET)…………………………
…
24 M3II-デバイスパレット(バケット付きパレットタイプ)…
…
24
M6II-DEVICEPALLET……………………………………………………
…
32 M6II-デバイスパレット………………………………………
…
32
M6II-DEVICEPALLET(PALLETWITHBUCKET)…………………………
…
40 M6II-デバイスパレット(バケット付きパレットタイプ)…
…
40
TRAYUNIT-L トレイユニット-L
TRAYUNIT-LSHIFTER…………………………………………………… 50 トレイユニット-Lシフタ部…………………………………
…
50
TRAYUNIT-LTOWER……………………………………………………… 66 トレイユニット-Lタワー部…………………………………
…
66
TRAYUNIT-LCOVER……………………………………………………… 92 トレイユニット-Lカバー部…………………………………
…
92
TRAYUNIT-LBODY………………………………………………………
…
96 トレイユニット-L本体部……………………………………
…
96
TRAYUNIT-LREJECTPARTSCONVEYOR………………………………… 106 トレイユニット-L部品排出コンベア部……………………
…
106
TRAYUNIT-LTRAYPALLET……………………………………………… 110 トレイユニット-Lトレイパレット部………………………
…
110
TRAYUNIT-LPNEUMATICCIRCUITDIAGRAM…………………………… 114 トレイユニット-Lエアー配管図……………………………
…
114
TRAYUNIT-LREMOVER……………………………………………………
…
118 トレイユニット-Lリムーバ…………………………………
…
118
TRAYUNIT-M…………………………………………………………………………
…
126 トレイユニット-M…………………………………………………………
…
126
TRAYPALLETSTAND…………………………………………………………………
…
162 トレイパレットスタンド…………………………………………………
…
162
PCU--PALLETCHANGEUNIT-- PCU--デバイスパレット交換台車--
PCU…………………………………………………………………………
…
164 PCU…………………………………………………………………
…
164
PCU(PALLETSWITHBUCKET)………………………………………………
…
180 PCU(バケット付きパレット用)………………………………
…
180
PSU--PALLETSTORAGEUNIT-- PSU--デバイスパレット置き台--
M3S,M3II-PSU……………………………………………………………
…
194 M3S,M3II-PSU……………………………………………………
…
194
M6S,M6II-PSU……………………………………………………………
…
204 M6S,M6II-PSU……………………………………………………
…
204
TRAYUNIT-MCHANGEUNIT…………………………………………………………
…
214 トレイユニット-M用交換台車…………………………………………
…
214