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バキュームレベルキャリブレーション HLF-20313-01 バキュームレベルキャリブレーション SHEET 4/4 5 確認した圧力センサの 表示値を吸着圧力欄に 入力し、 計算 ボタンをクリックします。 計算で算出された値が、 Ratio 欄と Offset 欄に表示さ れます。 6 保存 ボタンをクリックします。 設定した吸着圧力が保存され、バキュームキャリ ブレ ーション画面（設定）が閉じます。 7 圧力センサの表示値が設 定し…
バキュームレベルキャリブレーション
HLF-20313-01
バキュームレベルキャリブレーション
SHEET
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2. 移動モードの絶対移動 ボタンをクリックしま
す。
3. 絶対移動欄に「-65.0」mm と入力し、操作
パネルの START ボタンを押します。
H 軸が -65.0 mm の位置まで下降します。
4. ノズルブラケットを下向きに引っ張り、冶具ノ
ズル 1 を横から取り付けます。
ノズルブラケットから手を離すと、ノズルブラケット
が上に上がり冶具ノズルが保持されます。
5. 終了 ボタンをクリックして H 軸画面を閉じ
ます。
4 真空状態のときのセンサの表示値を確認し
ます。
1. 真空 ボタンをクリックします。
2. この状態で装置前面上部に取り付けられて
いる圧力センサの表示値を確認します。
ノズルブラケット
冶具ノズル 1
圧力センサ
バキュームレベルキャリブレーション
HLF-20313-01
バキュームレベルキャリブレーション
SHEET
4/4
5 確認した圧力センサの表示値を吸着圧力欄に
入力し、計算 ボタンをクリックします。
計算で算出された値が、Ratio 欄と Offset 欄に表示さ
れます。
6 保存 ボタンをクリックします。
設定した吸着圧力が保存され、バキュームキャリブレ
ーション画面（設定）が閉じます。
7 圧力センサの表示値が設定した圧力と同じで
あることを確認します。
1. バキュームレベルキャリブレーション画面の
バキュームレベルキャリブレーション（確認）
ボタンをクリックします。
バキュームレベルキャリブレーション（確認）画面
が表示されます。
2. 真空 ボタンをクリックします。
3. 確認 ボタンをクリックします。
画面に吸着圧力、Ratio、Offset、SYMC Level
の各値が表示されます。
4. 画面に表示されている吸着圧力の値と、圧
力センサの値が同じであることを確認しま
す。
5. 終了 ボタンをクリックします。
バキュームが解除され、バキュームレベルキャリ
ブレーション（確認）画面が閉じます。
8 冶具ノズル 1 を取り外します。
1. ノズルブラケットを下向きに引っ張り、冶具ノ
ズル 1 を横向きにスライドさせて取り外しま
す。
2. HI 画面に戻り、操作パネルの ORG ボタ
ンを押します。
装置が原点復帰します。
ノズルブラケット
冶具ノズル 1
V 軸セットアップ
HLF-20314-01
V 軸セットアップ
SHEET
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V 軸セットアップ
ここでは V 軸のセットアップ手順について説明します。
・ V 軸のセットアップは、40 段目（原点位置）と、1, 5, 6, 10, 11, 15, 16, 20, 21, 25, 26, 30, 31, 35, 36 段
目で同じ作業を繰り返すため、混乱しないようにあらかじめ下記のようなチェックリストを作成して行うと便利
です。
VR 軸
段数 移動量 済
40 0 (原点) √
36 48 mm √
35 12 mm
31 48 mm
・ 作業は 2 人で行うと効率よく行えます。
操作側 ：キー操作で軸を上下させる。
反操作側 ：現在作業中の段数を確認する、高さを測る、冶具の出し入れをする。
2 人で作業を行う場合は、お互いに声をかけ合い安全を確認しながら行ってください。
［必要な冶具］
• S 軸冶具パレット
［V 軸の原点設定］
1 ハンディーコンソールを接続します。
1. ハンディーコンソールを装置背面のコネクタ
に接続します。
2. ハンディーコンソールの ACTV ボタンを押
しながら、CHG ボタンを押します。
装置の制御権限がハンディーコンソール側に移
ります。
S 軸冶具パレット
ハンディー
コンソール