KE-2070_2080_InstructionManual_C_Rev01.pdf - 第525页
第1部 基本篇 第4章 制作生产程序 4-222 8) 跟踪时的 SOT 方向检查(选项) 在跟踪暂停时，可进行SOT方向检查。 在SOT方向检查中，显示如下画面。 此外，SOT方向检查后，检查结果以“OK”或“NG”来显示。 9) 跟踪时的验证检查(选项) 在跟踪暂停时，可进行验证检查。 进行元件验证时，显示如下画面。 图 4.5.4.4.4-11 此外，验证检查后，检查测定值及结果以“OK”或“NG”来显示。 图 4.5.4.4.4…
第1部 基本篇 第4章 制作生产程序
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7) 跟踪吸取高度各点时的动作
① 如果在跟踪吸取高度的条件设定中已设定了“与测量值间有差异则停止”,
则与测量值间有差异时，会显示如下信息。
自动传送将停止，请确认吸取数据的高度值。
② 如果在跟踪吸取高度的条件设定中已设定了“如果无法测量则停止”,
则无法使用HMS测量时，会显示如下对话框。
自动传送将停止，请确认吸取位置。
③ 如果在吸取高跟踪的条件设定中设定了“进行测量值的获取动作”,
则会询问,是否把HMS获得的测量值加入到吸取数据的Z坐标中。
需加入时按下“是”。
④ 如果在吸取高度跟踪的条件设定中已设定了“用摄像机确认位置”,
则将在VCS监视器中显示吸取位置。当显示以下询问时，请目视进行确认。如果位置正确，
请按下“是”，如果要用示教来改变吸取位置，请按下“否”，并进行示教操作。
图 4.5.4.4.4-6
图 4.5.4.4.4-7
图 4.5.4.4.4-8
图 4.5.4.4.4-9
第1部 基本篇 第4章 制作生产程序
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8) 跟踪时的 SOT 方向检查(选项)
在跟踪暂停时，可进行SOT方向检查。
在SOT方向检查中，显示如下画面。
此外，SOT方向检查后，检查结果以“OK”或“NG”来显示。
9) 跟踪时的验证检查(选项)
在跟踪暂停时，可进行验证检查。
进行元件验证时，显示如下画面。
图 4.5.4.4.4-11
此外，验证检查后，检查测定值及结果以“OK”或“NG”来显示。
图 4.5.4.4.4-10
第1部 基本篇 第4章 制作生产程序
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10) 跟踪时的自动示教
跟踪暂停时，可进行自动示教。
自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。
①尺寸异常时
空洞指的是，安装元件的凹进部分。空洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时，会显示如下错
误提示。
②浓度异常时
空洞影子浓度异常时，会显示如下错误提示。
③ 空洞中心偏移时
设定的吸取数据与自动示教矫正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。