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第1部 基本篇 第4章 制作生产程序 4-223 10) 跟踪时的自动示教 跟踪暂停时，可进行自动示教。 自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。 ①尺寸异常时 空洞指的是， 安装元件的凹进部分。 空 洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时， 会显示如下 错 误提示。 ②浓度异常时 空洞影子浓度异常时，会显示如下错误提示。 ③ 空洞中心偏移时 设定的吸取数据与自动示教矫正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。