RX-7说明书(4) - 第71页
第 3 章 导入篇 3 3-3. 空气源的 连接和真空泵的运转 3-3-1. 总压缩空气源的 连接 将所需空气源导 入本机，调整压力。 关于工厂总压缩 空气， 供给气体 n 请务必使用压缩 空气， 而不要使用除此之外 的流体。 n 含有大量水分的压缩空 气会造成装置 运行故障。请 用户自行准备空 气干燥器，排水 沟等水 分去除装置进行处理 。 n 压缩空气内含有 化学药 品，以及含有机溶剂 的合成油，盐分，腐 蚀 性气体等物质时 ，会造…
第 3 章 导入篇
3-2-3. 前工序机器和后工序机器的信号电缆连接
为了配合前后工序的机器和基板接送的时机等，连接相互间的信号电缆。
n
与前工序机器及后工序机器的连接电缆（选购项）：从以下 4 种电缆中选择。
1 SMEMA 规格 AMP (14P)
插头
SMEMA 规格 AMP (14P) 插头 0.35m
2 1m 或 3m
3 MOLEX (4P) 插头 3m
4 用户规格 用户指定
n
本机侧使用 AMP. 206043-1（14 极（14P））。
•
前工序机器
1 REQUEST (+) 本机→前工序装置
2 REQUEST (−) 本机→前工序装置
3 READY 本机 ← 前工序装置
4 G24 本机 ← 前工序装置
8 SHIELD ―
•
后工序机器
1 READY 本机 ← 后工序装置
2 G24 本机 ← 后工序装置
3 REQUEST (+) 本机→后工序装置
4 REQUEST (−) 本机→后工序装置
8 SHIELD ―
14
第 3 章 导入篇
3
3-3. 空气源的连接和真空泵的运转
3-3-1. 总压缩空气源的连接
将所需空气源导入本机，调整压力。
关于工厂总压缩空气，供给气体
n
请务必使用压缩空气，而不要使用除此之外的流体。
n
含有大量水分的压缩空气会造成装置运行故障。请用户自行准备空
气干燥器，排水沟等水分去除装置进行处理。
n
压缩空气内含有化学药品，以及含有机溶剂的合成油，盐分，腐蚀
性气体等物质时，会造成装置损坏和运行故障，请勿供给。
•
工厂总气压请务必使用通过压缩空气净化装置供给的 0.49MPa 至 0.92MPa 的干燥气
体。潮湿空气会对元件的吸附，安装造成不良影响，引起本机误动作。
从本机正面上方的小窗可以确认真空压力和供给压力。
(a)
VACUUM PRESSURE
显示本机内置真空泵的压力。
(b)
SUPPLIED AIR
显示供给到本机的气体通过减压阀后的压力。调整阀门，使供给空气源的压力为
0.49MPa(5kgf/cm
2
)。
15
第 3 章 导入篇
1
2
3
4
5
•
请用户自行准备连接到本体的 φ12mm 空气导管和空气源的供给切断装置。
3-3-2. 真空泵的压力确认
本机内置有真空泵，用于吸附元件。使真空泵运行。
1
2
3
关于操作方法的详情，请参阅“4-9-2. 吸嘴头操作”。
显示吸嘴头操作画面后，真空泵将自动打开。
真空泵旋转，确认本机正面上方的 VACUUM PUMP 真空压力计显示为 -86.0kPa 以下。
16