RX-7说明书(4) - 第72页
第 3 章 导入篇 1 2 3 4 5 • 请用户自行准备 连接到本体的 φ 12m m 空气导管和 空气源的供给切断装置。 3-3-2. 真空泵的压力确 认 本机内置有真空 泵，用于吸附元件。 使真空泵运行。 1 2 3 关于操作方法的 详情， 请参阅“ 4-9-2. 吸嘴头操作”。 显示吸嘴头操作 画面后 ，真空泵将自动打开 。 真空泵旋转，确 认本机 正面上方的 VACUUM PU MP 真空压力计显示 为 -86. 0kPa 以…
第 3 章 导入篇
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3-3. 空气源的连接和真空泵的运转
3-3-1. 总压缩空气源的连接
将所需空气源导入本机，调整压力。
关于工厂总压缩空气，供给气体
n
请务必使用压缩空气，而不要使用除此之外的流体。
n
含有大量水分的压缩空气会造成装置运行故障。请用户自行准备空
气干燥器，排水沟等水分去除装置进行处理。
n
压缩空气内含有化学药品，以及含有机溶剂的合成油，盐分，腐蚀
性气体等物质时，会造成装置损坏和运行故障，请勿供给。
•
工厂总气压请务必使用通过压缩空气净化装置供给的 0.49MPa 至 0.92MPa 的干燥气
体。潮湿空气会对元件的吸附，安装造成不良影响，引起本机误动作。
从本机正面上方的小窗可以确认真空压力和供给压力。
(a)
VACUUM PRESSURE
显示本机内置真空泵的压力。
(b)
SUPPLIED AIR
显示供给到本机的气体通过减压阀后的压力。调整阀门，使供给空气源的压力为
0.49MPa(5kgf/cm
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)。
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•
请用户自行准备连接到本体的 φ12mm 空气导管和空气源的供给切断装置。
3-3-2. 真空泵的压力确认
本机内置有真空泵，用于吸附元件。使真空泵运行。
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关于操作方法的详情，请参阅“4-9-2. 吸嘴头操作”。
显示吸嘴头操作画面后，真空泵将自动打开。
真空泵旋转，确认本机正面上方的 VACUUM PUMP 真空压力计显示为 -86.0kPa 以下。
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第 3 章 导入篇
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•
关闭吸嘴头操作画面后，真空泵将自动关闭。
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有关吸嘴头操作画面的详情，请参阅“4-9-2.吸嘴头操作”的“吸嘴头气体的切换操
作”。
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