RX-7说明书(4) - 第73页
第 3 章 导入篇 3 • 关闭吸嘴头操作 画面后 ，真空泵将自动关闭 。 • 有关吸嘴头操作 画面的 详情，请参阅“ 4-9-2. 吸嘴头操作 ”的“吸嘴头 气体的切换操 作”。 17
第 3 章 导入篇
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请用户自行准备连接到本体的 φ12mm 空气导管和空气源的供给切断装置。
3-3-2. 真空泵的压力确认
本机内置有真空泵，用于吸附元件。使真空泵运行。
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关于操作方法的详情，请参阅“4-9-2. 吸嘴头操作”。
显示吸嘴头操作画面后，真空泵将自动打开。
真空泵旋转，确认本机正面上方的 VACUUM PUMP 真空压力计显示为 -86.0kPa 以下。
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第 3 章 导入篇
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关闭吸嘴头操作画面后，真空泵将自动关闭。
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有关吸嘴头操作画面的详情，请参阅“4-9-2.吸嘴头操作”的“吸嘴头气体的切换操
作”。
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