4OM-1001-008_w - 第101页
(20) (20) (20) (20) (20) 装置高さ補正部 装置高さ補正部 装置高さ補正部 装置高さ補正部 装置高さ補正部 Fig.4A42 装置前面側 1.3 メンテナンスか所 0304-001 1 - 37 AHM01JTRP ࡏ࡞ࡀࠫ / ߆ߏߣޓᷡ ᴤ࠙ࠛࠬߢᷡߒߡߊߛߐޕ ࡏ࡞ࡀࠫ…

Fig.4A41 吸着上下部
ࡠࠬ࠻/
߆ߏߣޓ⛎ᴤ࠳ࡈ࠾ࠛࡐࡀ࠶ࠢࠬࠣࠬ0Q
࠺ࠖࠬࡍࡦࠬࠟࡦߢࠣࠬࠍႣᏓߒߡߊߛߐޕ
㧖↪ߔࠆࡁ࠭࡞ߪޔ44ᒻߢߔޕ
߆ߏߣޓ⛎ᴤ࠳ࡈ࠾ࠛࡐࡀ࠶ࠢࠬࠣࠬ0Q
࠺ࠖࠬࡍࡦࠬࠟࡦߢࠣࠬࠍႣᏓߒߡߊߛߐޕ
㧖↪ߔࠆࡁ࠭࡞ߪޔ0Q㧔ࠝࡉ⦡㧕ߢߔޕ
ޓޓޓޓޓޓޓޓޓ
ޓޓޓޓޓޓޓޓޓޓ0Q
ࠞࡓࡈࠜࡠࠕޓޓޓޓޓޓޓޓޓޓޓޓޓ/
߆ߏߣޓ⛎ᴤ
࠳ࡈ࠾ࠛࡐࡀ࠶ࠢࠬࠣࠬ0Q
ฎࠣࠬࠍ߈ขߞߡޔᣂߒࠣࠬࠍ
ࠣࠬࠟࡦߢࠣࠬ࠾࠶ࡊ࡞߆ࠄᵈߒߡ
ߊߛߐޕ
㧖↪ߔࠆࠕ࠲࠶࠴ࡔࡦ࠻ߪ7ᒻߣ2ᒻߢߔޕ
⛎ᴤߪޔೋ࿁߆ᓟޔએ㒠߆ߏߣߦⴕߞߡ
ߊߛߐޕ
࠾ࠕࠟࠗ࠼ࠬࠗ࠼ࡉࡠ࠶ࠢޓޓޓޓޓ/
ߩ⛎ᴤⓣߣࡏ࡞㕙ޓޓޓ
7ᒻ
2ᒻ
1.3 メンテナンスか所
0308-002 1-36 AHM01JTRP

(20)(20)
(20)(20)
(20)
装置高さ補正部 装置高さ補正部
装置高さ補正部 装置高さ補正部
装置高さ補正部
Fig.4A42 装置前面側
1.3 メンテナンスか所
0304-001 1-37 AHM01JTRP
ࡏ࡞ࡀࠫ/
߆ߏߣޓᷡ
ᴤ࠙ࠛࠬߢᷡߒߡߊߛߐޕ
ࡏ࡞ࡀࠫ/
߆ߏߣޓ⛎ᴤ࠳ࡈ࠾ࠛࡐࡀ࠶ࠢࠬࠣࠬ0Q
ฎࠣࠬࠍ࠙ࠛࠬߢ߈ขߞߡޔᣂߒࠣࠬࠍࠣ
ࠬࠟࡦߢࠣࠬ࠾࠶ࡊ࡞߆ࠄᵈߒߡߊߛߐޕ
㧖↪ߔࠆࠕ࠲࠶࠴ࡔࡦ࠻ߪޔ7ᒻߣ2ᒻߢߔޕ
⛎ᴤߪޔೋ࿁߆ᓟޔએ㒠߆ߏߣߦⴕߞߡߊߛߐޕ
࠾ࠕࠟࠗ࠼ߩ࡞/
߆ߏߣޓᷡ
ᴤ࠙ࠛࠬߢᷡߒߡߊߛߐޕ
7ᒻ
2ᒻ
࠾ࠕࠟࠗ࠼ߩࠬࠗ࠼ࡉࡠ࠶ࠢ/
߆ߏߣޓ⛎ᴤ࠳ࡈ࠾ࠛࡐࡀ࠶ࠢࠬࠣࠬ0Q
ฎࠣࠬࠍ࠙ࠛࠬߢ߈ขߞߡޔᣂߒࠣࠬࠍࠣ
ࠬࠟࡦߢࠣࠬ࠾࠶ࡊ࡞߆ࠄᵈߒߡߊߛߐޕ
㧖↪ߔࠆࠕ࠲࠶࠴ࡔࡦ࠻ߪޔ7ᒻߣ2ᒻߢߔޕ
⛎ᴤߪޔೋ࿁߆ᓟޔએ㒠߆ߏߣߦⴕߞߡߊߛߐޕ
7ᒻ
2ᒻ

Fig.4A43 装着高さ補正部
0509-003 1-38
AHM01JTRP
1.3 メンテナンスか所
࠾ࠕࠟࠗ࠼ࠬࠗ࠼ࡉࡠ࠶ࠢߩࡏ࡞㕙/ޓ
߆ߏߣޓ⛎ᴤ࠳ࡈ࠾ࠛࡐࡀ࠶ࠢࠬࠣࠬ0Q
࠺ࠖࠬࡍࡦࠬࠟࡦߢࠣࠬࠍႣᏓߒߡߊߛߐޕ
㧖↪ߔࠆࡁ࠭࡞ߪޔ0Q㧔ࠣࡦ㧕߹ߚߪ0Q
ޓ⨥⦡ߢߔޕ
0Q0Q
⛎ᴤߪޔೋ࿁߆ᓟޔએ㒠߆ߏߣߦⴕߞߡߊߛߐޕ
ࡌࠕࡦࠣࠟࠗ࠼㕙/
߆ߏߣޓ⛎ᴤࡕࡁ࠶ࠢࠣࠬ#2
࠺ࠖࠬࡍࡦࠬࠟࡦߢࠣࠬࠍႣᏓߒߡߊߛߐޕ
㧖↪ߔࠆࡁ࠭࡞ߪ0Q㧔⨥⦡㧕ߢߔޕ
0Q
ޓޓޓޓޓޓ