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( 1 5)[ 表示停止 ] スイッチを押します。 F2 扉と中央扉を開けます。 F2 側のリニアスケールをアルコール ( 無水エタノール ) をしみ込ま せた綿棒で清掃します。 清掃終了後、 F2 扉と中央扉を閉めます。 アルコール以外の使用は禁止します。 ( 1 6)[ 非常停止 ] スイッチのロックを解除し、 [ 復帰 ] ボタンを押します。 [POWER ON] ボタンを押して電源を投入します。 原点復帰 [ 全軸 ] ボタンを…

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Fig.4A85-6
(14)作動[ON]ボタンを押し、2秒以内に操作パネルの[ENABLE]ボタンを
押すと、以下の画面が表示されます。
Fig.4A85-7
1.4 メンテナンス方法
0304-001 1-74 AHM01JTRP
(13)エージングが終了すると、以下の画面が表示されます。
(15)[表示停止]スイッチを押します。
F2 扉と中央扉を開けます。
F2側のリニアスケールをアルコール(無水エタノール)をしみ込ま
せた綿棒で清掃します。
清掃終了後、F2 扉と中央扉を閉めます。
アルコール以外の使用は禁止します。
(16)[非常停止]スイッチのロックを解除し、[復帰]ボタンを押します。
[POWER ON]ボタンを押して電源を投入します。
原点復帰[全軸]ボタンを押し、2秒以内に操作パネルの[ENABLE]
タンを押します。
[次の手順へ]ボタンを押すと以下の画面が表示されます。
Fig.4A85-8
(17)フィーダ交換準備完了[F1][F2]ボタンを押します。
作動[ON]ボタンを押し、2秒以内に操作パネルの[ENABLE]ボタンを
押してください。
手順(15)と同様に、F1 側のリニアスケールを清掃します。
1.4 メンテナンス方法
0304-001 1-75 AHM01JTRP
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1.4 メンテナンス方法
0304-001 1-76 AHM01JTRP
(18) [非常停止]スイッチのロックを解除し、[復帰]ボタンを押します。
[POWER ON]ボタンを押して電源を投入します。
[次の手順へ]ボタンを押します。
(19) 原点復帰[全軸]ボタンを押し、2 秒以内に操作パネルの[ENABLE]
ボタンを押します。
フィーダ交換準備完了[F1][F2]ボタンを押します。
作動[ON]ボタンを押し、2 秒以内に操作パネルの[ENABLE]ボタン
を押すと、以下の画面が表示されます。
Fig.4A85-9
(20) [非常停止]スイッチを押し、F1 扉と中央扉を開けます。
F1 リニアガイドナットを清掃します。
清掃終了後、F1 扉と中央扉を閉めます。
(21)[非常停止]スイッチのロックを解除し、[復帰]ボタンを押します。
[POWER ON]ボタンを押して電源を投入します。
[次の手順へ]ボタンを押します。