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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 06040 1 Y テーブルオーバラン プラス （ + ）オーバランを検出しました。 060402 Y テーブルオーバラン マイナス（ - ）オーバランを検出しました。 ( 要因 1) センサの光ビームが遮光されています。 ( 要因 2) 遮光板に汚れが付着しセンサの光ビームが遮光されています。 (…
(06 Y テーブル)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
060101 Y テーブル原点 C 相原点が検出できませんでした。
( 要因 1) モータのエンコーダ部の不良、または、エンコーダケーブルの断線が考えられます。
( 復帰方法 1) 電源を切り、モータ、信号ケーブルのコネクタ接続部の緩みを確認してくださ
い。
この確認作業をしてもだめな場合は、信号ケーブルの断線、モータの不良等が
考えられますので、当社サービスへ連絡してください。
060102 Y テーブル原点 スライド原点が検出できませんでした。
( 要因 1) センサの不良、または、ケーブルの断線が考えられます。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し、異常表示を解除した後、原点復帰［全軸］ボタンを押
してください。
原点復帰をしてもだめな場合は、センサの交換、または、センサケーブルの交
換が必要になりますので、当社サービスへ連絡してください。
060103 Y テーブル原点 スライド原点とオーバーランが同時検出されました。
060104 Y テーブル原点 現在値管理が不定でした。
060105 Y テーブル原点 現在位置が原点にありませんでした。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
060201 Y テーブルタイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
060301 Y テーブルデータ 目的値が装置の可動範囲を超えている。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-51 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
060401 Y テーブルオーバラン プラス（+）オーバランを検出しました。
060402 Y テーブルオーバラン マイナス（-）オーバランを検出しました。
( 要因 1) センサの光ビームが遮光されています。
( 要因 2) 遮光板に汚れが付着しセンサの光ビームが遮光されています。
( 復帰方法 1) 電源を切り、XY テーブルを作業しやすい位置にしてください。
遮光板、または、センサの取り付けの緩みを締め直してください。
再度、電源を入れ原点復帰を行ってください。
( 復帰方法 2) センサの汚れを拭き取り、再度、全軸の原点復帰を行ってください。
060502 Y テーブルサーボ パラメータ破壊。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060503 Y テーブルサーボ 主回路検出部異常
060504 Y テーブルサーボ パラメータ設定異常。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060505 Y テーブルサーボ 組み合わせエラー
060509 Y テーブルサーボ 分周設定異常。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
06050a Y テーブルサーボ エンコーダタイプアンマッチ。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060510Yテーブルサーボ 過電流またはヒートシンク過熱。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060530 Y テーブルサーボ 回生異常
060532 Y テーブルサーボ 回生過負荷
060533 Y テーブルサーボ 主回路配線エラー
060540 Y テーブルサーボ 過電圧
060541 Y テーブルサーボ 不足電圧
060551 Y テーブルサーボ 過速度
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-52 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
060571 Y テーブルサーボ 過負荷（瞬間最大負荷）
060572 Y テーブルサーボ 過負荷（連続最大負荷）
060573 Y テーブルサーボ DB 過負荷
060574 Y テーブルサーボ 突入抵抗過負荷
06057a Y テーブルサーボ ヒートシンク過熱
060581 Y テーブルサーボ エンコーダバックアップアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060582 Y テーブルサーボ エンコーダサムチェックアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060583 Y テーブルサーボ エンコーダバッテリアラーム
060584 Y テーブルサーボ エンコーダデータアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060585 Y テーブルサーボ エンコーダオーバスピード
060586 Y テーブルサーボ エンコーダオーバヒート
0605b1 Y テーブルサーボ 速度指令 A/D 異常
0605b2 Y テーブルサーボ トルク指令 A/D 異常
0605b3 Y テーブルサーボ 電流検出異常
0605b6 Y テーブルサーボ ゲートアレイ異常
0605bf Y テーブルサーボ システムアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605c1 Y テーブルサーボ 暴走防止検出
0605c6 Y テーブルサーボ フルクローズドループ A,B 相断線
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-53 AHM01JTRP