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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0e040 1 カメラ Y オーバーラン プラス （ + ） オーバーランを検出しました。 （ BPH5 ）遮 光（ + ） 0e0402 カメラ Y オーバーラン マイナス （ - ） オーバーランを検出しました。 （ BPH6 ） 遮光 （ - ） ( 要因 1 ) スコープ Y 動作時、センサ…
(0e カメラ Y)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0e0101 カメラ Y 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
(要因 1) 全軸の原点復帰時に、センサの光ビームが常に遮光状態、または、通光状態のとき
に発生します。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、センサの汚れで光ビームが常に
遮光なのか通光なのか、または、センサが不良なのか確認してください。
確認方法は、センサの光ビームに紙片をあて遮光 / 通光を確認してください。
0e0102 カメラ Y 原点 スリット原点が検出できませんでした。（BPH4）遮光
0e0103 カメラ Y 原点 スライド原点が検出できませんでした。（BPH8）通光
0e0104 カメラ Y 原点 現在値管理が不定でした。
0e0105 カメラ Y 原点 現在位置が原点にありませんでした。
0e0106 カメラ Y 原点 原点復帰動作が所定時間内に終了しませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0e0201 カメラ Y タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
0e0301 カメラ Y データ 目的値が装置の可動範囲をこえました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-76 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0e0401 カメラ Y オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。（BPH5）遮 光（ +）
0e0402 カメラ Y オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。（BPH6）遮光（-）
(要因 1) スコープ Y 動作時、センサの光ビームが遮光されました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、原因を取り除いてください。
全軸を原点復帰してから運転を再開してください。
0e0601 カメラ Y 通信 返信タイムアウト。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-001 2-76-1 AHM01JTRP
(0f 基板移載)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0101 基板移載 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
0f0102 基板移載 原点 XYテーブルシュート下限が検出できませんでした。（BPH61)
0f0103 基板移載 原点 XY テーブルシュート上限を検出しました。（BPH60)
0f0104 基板移載 原点 基板移載下限が検出できませんでした。（BPH40)
0f0105 基板移載 原点 基板移載上限が検出できませんでした。（BPS1)
0f0106 基板移載 原点 基板移載一般停止が検出できませんでした。
0f0107 基板移載 原点 原点復帰動作が所定時間内に終了しませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0201 基板移載 タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0301 基板移載 データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
0f0302 基板移載 データ 目的値データに異常がありました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-77 AHM01JTRP