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(0f 基板移載 ) 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0f0 1 0 1 基板移載 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。 0f0 1 02 基板移載 原点 XY テーブルシュート下限が検出できませんでした。 （ BPH6 1 ) 0f0 1 03 基板移載 原点 XY テーブルシュート上限を検出しました。 （ BPH60)…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0e0401 カメラ Y オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。（BPH5）遮 光（ +）
0e0402 カメラ Y オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。（BPH6）遮光（-）
(要因 1) スコープ Y 動作時、センサの光ビームが遮光されました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、原因を取り除いてください。
全軸を原点復帰してから運転を再開してください。
0e0601 カメラ Y 通信 返信タイムアウト。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-001 2-76-1 AHM01JTRP
(0f 基板移載)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0101 基板移載 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
0f0102 基板移載 原点 XYテーブルシュート下限が検出できませんでした。（BPH61)
0f0103 基板移載 原点 XY テーブルシュート上限を検出しました。（BPH60)
0f0104 基板移載 原点 基板移載下限が検出できませんでした。（BPH40)
0f0105 基板移載 原点 基板移載上限が検出できませんでした。（BPS1)
0f0106 基板移載 原点 基板移載一般停止が検出できませんでした。
0f0107 基板移載 原点 原点復帰動作が所定時間内に終了しませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0201 基板移載 タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0301 基板移載 データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
0f0302 基板移載 データ 目的値データに異常がありました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-77 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0401 基板移載 オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。(BPH36)
0f0402 基板移載 オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。(BPH37)
(要因 1) センサまたは遮光板が光ビームを遮光しました。
遮光板に汚れが付着しセンサの光ビームが遮光しています。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、前面カバーを開け、手動ステッ
プで基板移載動作を確認してください。
センサまたは遮光板が光ビームを遮光した原因を取り除いてください。
再度、基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0501 基板移載 過負荷 過負荷状態を検出しました。(BPH38/BPH71)
(要因 1) 基板移載動作中に何かにひっかかり、タイミングベルトがたるみセンサの光ビーム
が遮光しました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、ひっかかりの原因を取り除いて
基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0601 基板移載 基板検出 移載コンベアからＸＹシュートへの移載に異常がありまし
た。
(要因 1) 移載コンベアの基板検出が基板移載動作中に、常に基板を検出（基板が残ってい
る）しています。
(復帰方法 1)[復帰]ボタンを押し異常表示を解除した後、基板が残っている原因を取り除い
てください。
• センサの感度が高すぎる場合、感度を下げてください。
• センサの位置が悪い場合、センサ位置を調整してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-78 AHM01JTRP