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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0f040 1 基板移載 オーバーラン プラス（ + ）オーバーランを検出しました。 (BPH36) 0f0402 基板移載 オーバーラン マイナス（ - ）オーバーランを検出しました。 (BPH37) ( 要因 1 ) センサまたは遮光板が光ビームを遮光しました。 遮光板に汚れが付着しセンサの光ビ…
(0f 基板移載)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0101 基板移載 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
0f0102 基板移載 原点 XYテーブルシュート下限が検出できませんでした。（BPH61)
0f0103 基板移載 原点 XY テーブルシュート上限を検出しました。（BPH60)
0f0104 基板移載 原点 基板移載下限が検出できませんでした。（BPH40)
0f0105 基板移載 原点 基板移載上限が検出できませんでした。（BPS1)
0f0106 基板移載 原点 基板移載一般停止が検出できませんでした。
0f0107 基板移載 原点 原点復帰動作が所定時間内に終了しませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0201 基板移載 タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0301 基板移載 データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
0f0302 基板移載 データ 目的値データに異常がありました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-77 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0401 基板移載 オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。(BPH36)
0f0402 基板移載 オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。(BPH37)
(要因 1) センサまたは遮光板が光ビームを遮光しました。
遮光板に汚れが付着しセンサの光ビームが遮光しています。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、前面カバーを開け、手動ステッ
プで基板移載動作を確認してください。
センサまたは遮光板が光ビームを遮光した原因を取り除いてください。
再度、基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0501 基板移載 過負荷 過負荷状態を検出しました。(BPH38/BPH71)
(要因 1) 基板移載動作中に何かにひっかかり、タイミングベルトがたるみセンサの光ビーム
が遮光しました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、ひっかかりの原因を取り除いて
基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0601 基板移載 基板検出 移載コンベアからＸＹシュートへの移載に異常がありまし
た。
(要因 1) 移載コンベアの基板検出が基板移載動作中に、常に基板を検出（基板が残ってい
る）しています。
(復帰方法 1)[復帰]ボタンを押し異常表示を解除した後、基板が残っている原因を取り除い
てください。
• センサの感度が高すぎる場合、感度を下げてください。
• センサの位置が悪い場合、センサ位置を調整してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-78 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0602 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
0f0603 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（基板がなくなりました）
0f0604 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（XY シュート上に不適切な基板が存在します）
0f0605 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（移載コンベア上で基板が停滞しました）
0f0606 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（移載コンベア上に不適切な基板が存在します）
0f0607 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（基板がなくなりました）
0f0608 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（排出コンベア上に不適切な基板が存在します）
0f0609 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（XY シュート上で基板が停滞しました）
0f060a 基板移載 基板検出 XYシュート下降時にシュート上に不適切な基板を検出しま
した。
0f060b 基板移載 基板検出 XY シュート下降時にシュート上の基板が外れました。
XY テーブル上の基板を確認してください。
0f060c 基板移載 基板検出 XYシュート上昇時にシュート上に不適切な基板を検出しま
した。
0f060d 基板移載 基板検出 XY シュート上昇時にシュート上の基板が外れました。
XY テーブル上の基板を確認してください。
0f060e 基板移載 基板検出 XYシュート出入口部に基板を検出した為、XYシュート下降
動作ができません。
XY シュート上の基板を確認してください。
0f060f 基板移載 基板検出 ＸＹシュートから排出コンベアへの移載に異常がありまし
た。
（XYシュート内の基板を確認してください。排出基板と取り
込み基板の２枚が XY シュート内に停滞しています。）
0f0610 基板移載 基板検出 ＸＹシュートから排出コンベアへの移載に異常がありまし
た。
（XY シュート内の基板を確認してください。排出基板が XY
シュート出口部に、同時に移載した基板がXYシュート内に
停滞しています。）
(要因 1) 基板移載動作中に、異常が検出されました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、表示に従って原因を取り除いて
ください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-79 AHM01JTRP