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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0f070 1 基板移載 タイムオーバー 基板移載下降動作が所定時間内に終了しませんでした。 （ BPH40) 0f0702 基板移載 タイムオーバー 基板移載上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。 （ BPS 1 ) ( 要因 1 ) 生産運転中で基板移載時、トランスファが下降または上昇しない…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0602 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
0f0603 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（基板がなくなりました）
0f0604 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（XY シュート上に不適切な基板が存在します）
0f0605 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（移載コンベア上で基板が停滞しました）
0f0606 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（移載コンベア上に不適切な基板が存在します）
0f0607 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（基板がなくなりました）
0f0608 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（排出コンベア上に不適切な基板が存在します）
0f0609 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（XY シュート上で基板が停滞しました）
0f060a 基板移載 基板検出 XYシュート下降時にシュート上に不適切な基板を検出しま
した。
0f060b 基板移載 基板検出 XY シュート下降時にシュート上の基板が外れました。
XY テーブル上の基板を確認してください。
0f060c 基板移載 基板検出 XYシュート上昇時にシュート上に不適切な基板を検出しま
した。
0f060d 基板移載 基板検出 XY シュート上昇時にシュート上の基板が外れました。
XY テーブル上の基板を確認してください。
0f060e 基板移載 基板検出 XYシュート出入口部に基板を検出した為、XYシュート下降
動作ができません。
XY シュート上の基板を確認してください。
0f060f 基板移載 基板検出 ＸＹシュートから排出コンベアへの移載に異常がありまし
た。
（XYシュート内の基板を確認してください。排出基板と取り
込み基板の２枚が XY シュート内に停滞しています。）
0f0610 基板移載 基板検出 ＸＹシュートから排出コンベアへの移載に異常がありまし
た。
（XY シュート内の基板を確認してください。排出基板が XY
シュート出口部に、同時に移載した基板がXYシュート内に
停滞しています。）
(要因 1) 基板移載動作中に、異常が検出されました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、表示に従って原因を取り除いて
ください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-79 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0701 基板移載 タイムオーバー 基板移載下降動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH40)
0f0702 基板移載 タイムオーバー 基板移載上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPS1)
(要因 1) 生産運転中で基板移載時、トランスファが下降または上昇しないとき、この異常が
発生します。
センサの汚れが考えられます。
(要因 2) 基板移載上昇時、シリンダが所定の動作（伸縮）ができずセンサが ON しないため
発生します。センサの汚れが考えられます。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、トランスファが下降または上昇
しないときの原因を取り除いてください。
トランスファが下降なたは上昇しても発生する場合、センサの汚れが考えられ
ますので清掃後、トランスファを原点復帰してください。
(復帰方法 2) センサの汚れを拭き取ってからトランスファを原点復帰してください。
0f0703 基板移載 タイムオーバー XYシュートの下降動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH61)
0f0704 基板移載 タイムオーバー XYシュートの上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH60)
(要因 1)XYシュートが下降または上昇しないときに、発生します。
• センサの汚れが考えられます。
• 基板が XY シュートに狭まった。
• 基板の基準穴と外形基準ピンが合わない。
• 基板の基準穴が小さく抜けない。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、異常の原因を取り除いてから原
点復帰してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-80 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0705 基板移載 タイムオーバー 基板移載送り動作が所定時間内に終了しませんでした。
0f0706 基板移載 タイムオーバー 基板移載戻し動作が所定時間内に終了しませんでした。
(要因 1) 生産運転中に基板移載送り動作または戻し動作がしないとこの異常が発生します。
センサの汚れが考えられます。
(要因 2) 基板移載ベルトのたるみが考えられます。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、基板移載送り動作または戻し動
作しないときの原因を取り除いてください。
センサの汚れを拭き取ってから原点復帰してください。
(復帰方法 2) 基板移載ベルトが磨耗しているので交換が必要です。
当社サービスへ連絡してください。
0f0707 基板移載 タイムオーバー 基板移載送り動作が正常に終了しませんでした。
0f0708 基板移載 タイムオーバー 基板移載下降時に上限センサを検出しました。
0f0709 基板移載 タイムオーバー 基板移載上昇時に下限センサを検出しました。
0f070a 基板移載 タイムオーバー XY シュート下降時に上限センサを検出しました。
0f070b 基板移載 タイムオーバー XY シュート上昇時に下限センサを検出しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-81 AHM01JTRP