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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0f080 1 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに XY テーブルが原点にありませんで した。 0f0802 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに XY テーブルが動作していました。 0f0803 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに移載コンベアが正転していまし…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0705 基板移載 タイムオーバー 基板移載送り動作が所定時間内に終了しませんでした。
0f0706 基板移載 タイムオーバー 基板移載戻し動作が所定時間内に終了しませんでした。
(要因 1) 生産運転中に基板移載送り動作または戻し動作がしないとこの異常が発生します。
センサの汚れが考えられます。
(要因 2) 基板移載ベルトのたるみが考えられます。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、基板移載送り動作または戻し動
作しないときの原因を取り除いてください。
センサの汚れを拭き取ってから原点復帰してください。
(復帰方法 2) 基板移載ベルトが磨耗しているので交換が必要です。
当社サービスへ連絡してください。
0f0707 基板移載 タイムオーバー 基板移載送り動作が正常に終了しませんでした。
0f0708 基板移載 タイムオーバー 基板移載下降時に上限センサを検出しました。
0f0709 基板移載 タイムオーバー 基板移載上昇時に下限センサを検出しました。
0f070a 基板移載 タイムオーバー XY シュート下降時に上限センサを検出しました。
0f070b 基板移載 タイムオーバー XY シュート上昇時に下限センサを検出しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-81 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0801 基板移載 インターロック 動作しようとしたときにXYテーブルが原点にありませんで
した。
0f0802 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに XY テーブルが動作していました。
0f0803 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに移載コンベアが正転していました。
0f0804 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに移載コンベアが逆転していました。
0f0805 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに排出コンベアが回転していました。
0f0806 基板移載 インターロック XY テーブル動作中に XY シュート下限が外れました。
(BPH61/BPH70)
0f0807 基板移載 インターロック XY シュート上限を検出しました。(BPH60)
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0901 基板移載 通信異常 DDMC ボードからの通信がタイムアウトしました。
0f0902 基板移載 通信異常 DDMC ボード内部で通信エラーが発生しました。
0f0903 基板移載 通信異常 通信データのチェックサムに異常が検出されました。
0f0904 基板移載 通信異常 応答がありません。
0f0905 基板移載 通信異常 ビジー状態です。
0f0906 基板移載 通信異常 実行できないコマンドが発行されました。
0f0907 基板移載 通信異常 PMD からの応答がありません。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-82 AHM01JTRP
(10 XY シュート幅)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
100101 XY シュート幅 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
100102 XY シュート幅 原点 現在値管理が不定でした。
100103 XY シュート幅 原点 現在位置が原点にありませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
100201 XY シュート幅 タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
100301 XY シュート幅 データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
(要因 1)“段取替え”画面内で原点位置より広い方へインチング操作しました。
または、狭い方へインチング操作しました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンで異常表示を解除し、正しい方向へインチング操作してくださ
い。
100401 XY シュート幅 オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。（BPH73)遮光
100402 XY シュート幅 オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。（BPH74)遮光
(要因 1) センサの光ビームが遮光されています。
(要因 2) センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
(復帰方法 1) 電源を切り、シュート幅を手動ツマミで動かし作業しやすい位置で、遮光板、
または、センサの取り付けの緩みを締め直してください。
再度、電源を入れてシュート幅の原点復帰を行ってください。
“段取替え”画面で、シュート幅が指定通り動くか確認してください。
必要であれば、シュート幅のクリアランスを修正してください。
(復帰方法 2) センサに汚れを拭き取り、再度、シュート幅の原点復帰を行ってください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-83 AHM01JTRP