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( 1 0 XY シュート幅 ) 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 1 00 1 0 1 XY シュート幅 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。 1 00 1 02 X Y シュート幅 原点 現在値管理が不定でした。 1 00 1 03 X Y シュート幅 原点 現在位置が原点にありませんでした。 ( 要因 1 ) 装置の自…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0801 基板移載 インターロック 動作しようとしたときにXYテーブルが原点にありませんで
した。
0f0802 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに XY テーブルが動作していました。
0f0803 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに移載コンベアが正転していました。
0f0804 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに移載コンベアが逆転していました。
0f0805 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに排出コンベアが回転していました。
0f0806 基板移載 インターロック XY テーブル動作中に XY シュート下限が外れました。
(BPH61/BPH70)
0f0807 基板移載 インターロック XY シュート上限を検出しました。(BPH60)
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0901 基板移載 通信異常 DDMC ボードからの通信がタイムアウトしました。
0f0902 基板移載 通信異常 DDMC ボード内部で通信エラーが発生しました。
0f0903 基板移載 通信異常 通信データのチェックサムに異常が検出されました。
0f0904 基板移載 通信異常 応答がありません。
0f0905 基板移載 通信異常 ビジー状態です。
0f0906 基板移載 通信異常 実行できないコマンドが発行されました。
0f0907 基板移載 通信異常 PMD からの応答がありません。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-82 AHM01JTRP
(10 XY シュート幅)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
100101 XY シュート幅 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
100102 XY シュート幅 原点 現在値管理が不定でした。
100103 XY シュート幅 原点 現在位置が原点にありませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
100201 XY シュート幅 タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
100301 XY シュート幅 データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
(要因 1)“段取替え”画面内で原点位置より広い方へインチング操作しました。
または、狭い方へインチング操作しました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンで異常表示を解除し、正しい方向へインチング操作してくださ
い。
100401 XY シュート幅 オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。（BPH73)遮光
100402 XY シュート幅 オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。（BPH74)遮光
(要因 1) センサの光ビームが遮光されています。
(要因 2) センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
(復帰方法 1) 電源を切り、シュート幅を手動ツマミで動かし作業しやすい位置で、遮光板、
または、センサの取り付けの緩みを締め直してください。
再度、電源を入れてシュート幅の原点復帰を行ってください。
“段取替え”画面で、シュート幅が指定通り動くか確認してください。
必要であれば、シュート幅のクリアランスを修正してください。
(復帰方法 2) センサに汚れを拭き取り、再度、シュート幅の原点復帰を行ってください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-83 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
100501 XY シュート幅 シュート上下 XYシュートの下降動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH61)OFF
100502 XY シュート幅 シュート上下 XYシュートの上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH60)通光
100503 XY シュート幅 シュート上下 XYシュートの下降動作時にXYシュート出入口部に基板を検
出しました。 (BPH89/BPH92)ON
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
100601 XY シュート幅 通信 コントローラが命令実行不可状態。
100602 XY シュート幅 通信 コントローラ内部でエラーが発生しました。
100603 XY シュート幅 通信 コントローラが通信異常を検出しました。
100604 XY シュート幅 通信 返信タイムアウト。
100701 ＸＹシュート幅 アラーム 動作しようとしたときに停止していませんでした。
100702 ＸＹシュート幅 アラーム 動作中に非常停止イベントを検出しました。
100703 ＸＹシュート幅 アラーム 動作完了時にアラーム異常を検出しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 2) 安定化電源（PSU)が異常です。
(復帰方法 1) 全軸を原点復帰してから運転を再開してください。
(復帰方法 2) 安定化電源を確認してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-001 2-83-1 AHM01JTRP