4OM-1001-008_w - 第284页
(42 コンベア ) 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 420 1 0 1 供給コンベア タイムオーバー 前工程からの基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。 420 1 02 供給コンベア タイムオーバー 供給コンベア上で基板が停滞しました。 ( 要因 1 ) コンベア上で基板がひっかかっています。 ( 要因 2) 基板が搬送さ…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
410501 装着データ 装着済みステップでした。
410502 装着データ 装着していないステップがありました。
WARM スタートでリカバリーしてください。
410503 装着データ 部品持ちかえりにより未装着のステップが発生しました。
手動または WARM スタートにてリカバリーしてください。
410504 装着データ 部品持ちかえりにより未装着のステップが発生しました。
生産は中断されますので確認してください。
410505 装着データ 部品持ちかえりにより未装着のステップが発生しました。
生産は継続されますので後工程にて確認してください。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 説明に従って復帰してください。
410601 部品データ 使用できるノズルがありませんでした。
ノズル配置データまたはスキップ設定を確認してください。
410701 ノズルタイプ
(要因 1) 装置に正しいノズルが取り付けられていない、または、ノズル配置データ、ノズル
タイプデータが違う可能性があります。
(復帰方法 1) 装置に取り付けられているノズルを確認してください。
また、“第 3 編：データ 5 節 4. ノズル関連データ”を参照して、ノズル配置
データ、ノズルタイプデータを確認してください。
410801 カレントパターンプログラム
なし
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 生産機種の切替えを行ってください。
機種切替できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
410901 基板認識データ 基板認識データが規定数を超えています。
410a01 パターンプログラムデータ Pデータのコントロールコマンドに‘E’が入力されています。
行列バッドマーク機能時は使用できません。
(要因 1) パターンプログラムデータが違っています。
(復帰方法 1) 正しいパターンプログラムを作成してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-94 AHM01JTRP
(42 コンベア)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
420101 供給コンベア タイムオーバー 前工程からの基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。
420102 供給コンベア タイムオーバー 供給コンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) コンベア上で基板がひっかかっています。
(要因 2) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(復帰方法 1) コンベア幅の調整不良、基板寸法の違いが考えられます。
コンベア幅の再調整または基板寸法を確認してください。
(復帰方法 2) 基板を元に戻し、再度、生産を開始してください。
420201 移載コンベア タイムオーバー 移載コンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1)L2コンベア基板検出が通光 / 遮光していません。
センサに汚れが付着している可能性があります。
(要因 2) L2 コンベア基板移載検出が不良です。
(復帰方法 1) 基板検出センサの通光 / 遮光を確認してください。
(復帰方法 2) 当社サービスへ連絡してください。
420202 移載コンベア タイムオーバー 移載コンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しません
でした。
(要因 1)L1 コンベア基板検出が通光 / 遮光していません。
センサに汚れが付着している可能性があります。
(要因 2) 供給コンベアタイマー 2 または排出コンベアタイマー 2 の設定値が設定範囲を超え
ています。
(要因 3) L1 コンベア基板検出センサが不良です。
(復帰方法 1)L1 コンベア基板検出センサの通光 / 遮光を確認してください。
(復帰方法 2) 供給コンベアタイマー 2 または排出コンベアタイマー 2 の設定値を正しく設定
しなおしてください。
(復帰方法 3) 当社サービスへ連絡してください。
420203 移載コンベア タイムオーバー XY シュート上で基板が停滞しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-95 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
420301 排出コンベア タイムオーバー 後工程への基板排出が所定時間内に終了しませんでした。
420302 排出コンベア タイムオーバー 排出コンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
420401 供給コンベア 基板検出 供給コンベア基板検出（出口）を検出前に前工程ワーク
搬送信号が切れました。
420402 供給コンベア 基板検出 供給コンベア上に基板が 2 枚あります。
(要因 1) 供給コンベア基板検出（出口）を検出前に前工程ワーク搬送信号が切れました。
供給コンベア上に基板が 2 枚あります。
(復帰方法 1) 基板検出センサ（出口）の位置を調整してください。
基板検出センサ（出口）の不良、交換が必要です。
420501 移載コンベア 基板検出 移載コンベア基板検出（出口）センサーの設定値が不良で
す。
420502 移載コンベア 基板検出 移載コンベア上に基板が 2 枚あります。
420503 移載コンベア 基板検出 移載コンベア入口で基板が停滞しています。
(要因 1) 生産運転で、基板移載爪まで基板が戻されました。または、基板検出センサから基
板が外れました。
• 基板検出センサの取り付け位置が不良です。
• 基板サイズの X 値が設定範囲を超えています。
(復帰方法 1) 復帰ボタンで異常表示を解除し、基板移載の原点復帰を行います。
基板検出センサの取り付け位置を調整します。
基板サイズの X 値を正しい値に設定します。
420601 排出コンベア 基板検出 後工程への基板排出が完了する前に後工程ワーク要求信号
が切れました。
420602 排出コンベア 基板検出 排出コンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-96 AHM01JTRP