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(43 自己診断 1 ) 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 430 1 0 1 ノズル切替え検出 ノズル切替え戻しが正常に機能しませんでした。 ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 復帰方法 1 ) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。 復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。 4302…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
420301 排出コンベア タイムオーバー 後工程への基板排出が所定時間内に終了しませんでした。
420302 排出コンベア タイムオーバー 排出コンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
420401 供給コンベア 基板検出 供給コンベア基板検出（出口）を検出前に前工程ワーク
搬送信号が切れました。
420402 供給コンベア 基板検出 供給コンベア上に基板が 2 枚あります。
(要因 1) 供給コンベア基板検出（出口）を検出前に前工程ワーク搬送信号が切れました。
供給コンベア上に基板が 2 枚あります。
(復帰方法 1) 基板検出センサ（出口）の位置を調整してください。
基板検出センサ（出口）の不良、交換が必要です。
420501 移載コンベア 基板検出 移載コンベア基板検出（出口）センサーの設定値が不良で
す。
420502 移載コンベア 基板検出 移載コンベア上に基板が 2 枚あります。
420503 移載コンベア 基板検出 移載コンベア入口で基板が停滞しています。
(要因 1) 生産運転で、基板移載爪まで基板が戻されました。または、基板検出センサから基
板が外れました。
• 基板検出センサの取り付け位置が不良です。
• 基板サイズの X 値が設定範囲を超えています。
(復帰方法 1) 復帰ボタンで異常表示を解除し、基板移載の原点復帰を行います。
基板検出センサの取り付け位置を調整します。
基板サイズの X 値を正しい値に設定します。
420601 排出コンベア 基板検出 後工程への基板排出が完了する前に後工程ワーク要求信号
が切れました。
420602 排出コンベア 基板検出 排出コンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-96 AHM01JTRP
(43 自己診断 1)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
430101 ノズル切替え検出 ノズル切替え戻しが正常に機能しませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
430207 ノズル検出 ノズル検出センサのコントローラからアラーム信号が検出
されました。
430208 ノズル検出 ノズル検出センサのコントローラのストローブ応答があり
ません。
(要因 1) センサの汚れにより、光ビームの通光 / 遮光ができませんでした。
センサの不良が考えられます。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、センサに汚れが付着していない
ことを確認してください。
430209 ノズル検出 ノズルが下限より下降しました。（ノズル検出センサ)
(要因 1) ステーション 10 で使用ノズルが、ローレベルより下がり検出されました。
装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全原点復帰してから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
43020a ノズル検出 ノズルレベルを HIGH レベルに切替えできませんでした。
（ノズル検出センサ）
43020b ノズル検出 ノズルレベルを LOW レベルに切替えできませんでした。
（ノズル検出センサ）
(要因 1) ステーション10で、ノズル切り替え動作完了時に、ノズルが正常レベル(High/Low
レベル)を検出できませんでした。
(ノズル摺動動作不良)
(復帰方法 1) 異常内容を確認し、運転を再開してください。
運転を再開しても頻繁に異常発生する場合は、対象ヘッドを調整して摺動動
作を確認してください。
調整方法については、“1 節 1.4.5 ミニチュアストローグベアリングの分解、
清掃および給油”を参照してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-97 AHM01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-98 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
43020c ノズル検出 不要ノズルが下降しました。
(ノズル検出センサ:ノズル検出 1/ ノズル検出 2)
(要因 1) センサの汚れにより、光ビームの通光 / 遮光ができませんでした。
センサの不良が考えられます。
(要因 2) ステーション 8 で、ノズルが抜けかけて、チップ排出板にあたると発生します。
（生産運転と手動操作でも発生します。）
(復帰方法 1) センサに汚れが付着していないことを確認してください。
または、センサの不良が考えられますのでセンサの交換が必要です。
交換する場合は、当社サービスへ連絡してください。
(復帰方法 2) ステーション8のヘッドを確認してください。次に、逆転操作でヘッドを装置
手前側に戻し、ノズルを奥まで挿入してください。
43020d ノズル検出 ノズルレベルを（HIGH）の部品持ち帰りを検出しました。
（ノズル検出センサ）
43020e ノズル検出 ノズルレベルを（LOW）の部品持ち帰りを検出しました。
（ノズル検出センサ）
(要因 1) 装着したはずの部品を持ち帰りました。
(復帰方法 1) 異常内容を確認し、運転を再開してください。
詳細は、“第 2 編 2 節 2.7 部品持ち帰り検出”を参照してください。
43020f ノズル検出 ノズル検出センサが定位置外れを検出しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
ステーション 10 で、吸着前のノズルがノズル定位置(定位置でのノズルレベル)
を検出できませんでした。
(ノズル摺動動作不良)
(要因 2) ノズル先端が欠けています。(欠損しています。)
(復帰方法 1) 異常内容を確認し、運転を再開してください。
運転を再開しても異常発生する場合は、対象ヘッドを調整して摺動動作を確
認してください。
調整方法については、“1節 1.4.5 ミニチュアストローグベアリングの分解、
清掃および給油”を参照してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
(復帰方法 2) 対象ノズルを交換してください。