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3.3 異常 ID と復帰方法 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 4b050 1 XY テーブルシュート ＸＹテーブルシュートが下限にありません。 4b0502 X Y テーブルシュート XY テーブルシュートが上限にありません。 ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 復帰方法 1 ) 全軸の原点復帰をしてから…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
4b030a 操作ミス 排出コンベア上に不適切な基板が存在します。
(要因 1) 排出コンベア上に不適切な基板が存在します。
(復帰方法 1) 排出コンベア上の不適切な基板を取り除いて、再度生産を開始してください。
4b030b 操作ミス 供給コンベア上から適切な基板が取り除かれました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
4b030c 操作ミス 移載コンベア上から適切な基板が取り除かれました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
4b030d 操作ミス 排出コンベア上から適切な基板が取り除かれました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
4b0401 前後工程信号 段取り動作中に前工程ワーク有無信号を検出しました。
前工程側コンベア上の基板を確認してください。
4b0402 前後工程信号 段取り動作中に後工程ワーク有無信号を検出しました。
後工程側コンベア上の基板を確認してください。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-001 2-117-1 AHM01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
4b0501 XY テーブルシュート ＸＹテーブルシュートが下限にありません。
4b0502 XY テーブルシュート XY テーブルシュートが上限にありません。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0509-001 2-117-2 AHM01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
(4c 割基板不良検出)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
4c0101 全割基板不良 割基板の全てを不良検出しました。（XY テーブル上）
4c0102 全割基板不良 割基板の全てを不良検出しました。（移載コンベア上）
4c0201 割基板不良検出情報 該当する基板の割基板不良検出情報がありません。
（移載コンベア上）
4c0202 割基板不良検出情報 該当する基板の割基板不良検出情報がありません。
（XY テーブル上）
4c0203 割基板不良検出情報 割基板不良検出情報に異常があります。
4c0301 割基板不良検出 割基板生産枚数が指定枚数に達しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 内容を確認し、復帰してください。
0509-003 2-118 AHM01JTRP