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安全 - 22 AHM01J-P 安全にお取扱いいただくために フィーダ軸衝突異常検出センサ フィーダ軸が衝突したときに、装置の運転を停止します。 センサ名 記 号 装 置 処 置 キャリッジ衝突 12 BPH57 上面図 Fig.1X23 フィーダ軸衝突異常検出センサ Table 1X6 左記センサの内 1 つでも異常を検出した場 合は、次のように処置されます。 • フィーダキャリッジ 1 、2 の駆動電源が遮 断されます。 • ロー…

安全 -21 AHM01J-P
安全にお取扱いいただくために
装置保護センサ
フィーダ装着異常検出センサ
テープフィーダが正しく取付けられていない状態での運転を防止します。
センサ名 記 号 装 置 処 置
装着ミス(+) BPX30
装着ミス(-) BPX31
持ち上がり防止(+) SQ2
持ち上がり防止(-) SQ3
フック外れ(+) BPX27
フック外れ(-) BPX28
後面図(上部)
Fig.1X22 フィーダ装着異常検出センサ
Table 1X5
左記センサの内 1 つでも異常を検出した場
合は、次のように処置されます。
• フィーダキャリッジ 1、2 の駆動電源が遮
断されます。
• ロータリータレットは、サイクル停止し
ます。
(ロータリータレットの角度が 0 度、また
は、360 度での停止です)
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0710-002

安全 -22 AHM01J-P
安全にお取扱いいただくために
フィーダ軸衝突異常検出センサ
フィーダ軸が衝突したときに、装置の運転を停止します。
センサ名 記 号 装 置 処 置
キャリッジ衝突 12 BPH57
上面図
Fig.1X23 フィーダ軸衝突異常検出センサ
Table 1X6
左記センサの内 1 つでも異常を検出した場
合は、次のように処置されます。
• フィーダキャリッジ 1、2 の駆動電源が遮
断されます。
• ロータリータレットは、サイクル停止し
ます。
(ロータリータレットの角度が 0 度、また
は、360 度での停止です)
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0710-002

安全 -23 AHM01J-P
安全にお取扱いいただくために
XY テーブル基板検出センサ
XY テーブル上で基板位置決めが外れたときに、装置の運転を停止します。
センサ名 記 号 装 置 処 置
XY テーブル基板検出(固定) BPH47
XY テーブル基板検出(可動) BPH49
Fig.1X24 XY テーブル基板検出センサ配置図
Table 1X7
左記センサの内 1 つでも異常を検出した場
合は、次のように処置されます。
• XY テーブルの駆動電源が遮断されます。
• ロータリータレットは、サイクル停止し
ます。
(ロータリータレットの角度が 0 度、また
は、360 度での停止です)
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