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AHM01J-P 安全にお取扱いいただくために 安全 - 44 0710-003 z 電気ノイズなどが入らない場所であること。 装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し てください。 z 可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。 z 油煙またはほこりがない場所であること。 z 水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。 z メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。 供給電源に…
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安全にお取扱いいただくために
安全 -430710-003
据付け時の注意
設置環境が悪いと、装置の性能が十分に発揮されなかったり、故障や事故の
原因にもなります。
設置の際には、以下に示す各項目にしたがって正しい環境を確保してくださ
い。
装置の移設を予定されている場合は、あらかじめ株式会社日立ハイテクノロ
ジーズの営業部門または販売代理店にご相談ください。
z 装置の質量を支える強度が保持できる場所であること。
装置の据付け場所は 1 階を推奨します。1 階以外に据付ける場合
は、株式会社日立ハイテクノロジーズの営業部門または販売代
理店にご相談ください。
z 著しい振動がない場所であること。
z 周囲温度が 20 ± 10 °C であること。
また、湿度が 30 ～ 80% の範囲にあり、結露しない場所であること。
装置を現在の装置表面温度より高い温度の環境に搬入 / 搬出する場合は、以下
の条件により結露するおそれがあります。
結露すると、装置が故障する原因となります。
結露の条件
“搬入 / 搬出の湿度(%)”を基準にすると、“搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度
との差”が、以下の値以上になると結露のおそれがあります。
搬入 / 搬出の湿度(%) 搬入 / 搬出先の温度と装置表面温度との差
80 3 °C以上
70 6 °C以上
60 8 °C以上
50 10 °C以上
40 14 °C以上
30 18
°C 以上
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安全 -440710-003
z 電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
z 可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
z 油煙またはほこりがない場所であること。
z 水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
z メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
供給電源について
本装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
• 電圧 ： 3 相 AC 200V ± 20V
• 皮相電力 ： TCM-X110J : 約 14 kVA
TCM-X300S : 約 14 kVA
電圧が変動したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼ
すばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
z 一次電源は、貴社にて準備願います。
• 装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン(PE)を接続し
てください。
• 接地(PE)は、D 種接地工事(旧第 3 種接地工事)以上としてください。
• 接地ラインは他のケーブル(L1、L2、L3)よりも余裕をもった長さで接続し
てください。
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安全 -450710-001
エアについて
本装置には、空気圧が 0.5 ～ 0.69 MPa (5.1 ～ 7 kgf/cm
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) で、水分、油分およ
び塵埃 (ダスト) を含まない空気 (ドライクリーンエア) を供給してください。
水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な動
作をしなくなるおそれがあります。
ドライクリーンエアとは
水分 ： 露点 -17°C 以下（大気圧）
油分 ： 0.1mg/m
3
以下（ANR）
ダスト ： 固形物 0.01µm以下
データのバックアップについて
装置の故障や誤操作などでデータが使えなくなる場合があります。万一に備え
て、ハードディスクの内容をネットワークターミナル（オプション）に定期的
にバックアップしてください。
コンピュータウィルスについて
プログラムやデータが急に壊れたり、予測できない動作をしたり、操作パネル
に異常な画面が表示されるときは、コンピュータがコンピュータウィルスに感
染した可能性があります。コンピュータウィルスとは、コンピュータに密かに
侵入し、コンピュータを勝手に動かしたり、データを破損する悪質なプログラ
ムのことです。また、そのようなコンピュータウィルスを除去するプログラム
をワクチンプログラムといいます。コンピュータウィルスが感染したコン
ピュータからの通信やコンピュータウイルスに感染した記録媒体を介してコン
ピュータウィルスが感染することがあります。装置内蔵のコンピュータがコン
ピュータウィルスに感染する恐れのある場合は、ワクチンプログラムでチェッ
クしてください。ただし、ワクチンプログラムの種類によって、コンピュータ
のウィルスを取り除くことができないことがあります。このような場合には、
事前にデータのバックアップを必ずとっておいてください。
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