NXT-II 机械手册 - 第325页

6. 预防保养 QD145-21 298 NXT II 机械手册 6. 如果是 4M-2 基座的话，按以下步骤拆除滤芯。 a. 往下滑动滤器套上的按钮，从过滤 器上拆除过滤器套。 b. 拆除滤芯外套后，取出滤芯。 7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。 8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污 垢严重时更换新的部品。 01MEC-0294Sb ⒥ࡼᣝ䪂 / ෎ᑻ Ⲫᵓ Ⓒ㢃 ೒ো˖ +  䖛Ⓒ఼༫

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QD145-21 6. 预防保养
NXT II 机械手册 297
6.10.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 从基座上拆除盖板。
4. 请将真空配管内设定为大气压。
5. 如果是 2M-2、4M-2B6 基座的话，请按以下步骤拆除滤芯。
a. 松开滤器套下面的螺栓，从过滤器上拆除滤器套。
b. 从过滤器里取出滤芯。
警告
更换作业请必须在切断机器主电源后进行。
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6. 预防保养 QD145-21
298 NXT II 机械手册
6. 如果是 4M-2 基座的话，按以下步骤拆除滤芯。
a. 往下滑动滤器套上的按钮，从过滤器上拆除过滤器套。
b. 拆除滤芯外套后，取出滤芯。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
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QD145-21 6. 预防保养
NXT II 机械手册 299
6.10.3 料盘单元 -L 空气过滤器的清扫
1. 拧下 M5 螺栓 （2 根 )，拆下制动器盖罩。
2. 拆下树脂框。
3. 取出过滤器。
4. 吹入压缩空气清扫过滤器或者在污垢严重时更换新的部件。
5. 安装过滤器、树脂板、制动器盖罩。
注意
风扇动作中不能进行操作。有被风扇卷入的危险。
运转中不能进行操作。因为在制动器盖罩被拆下时进行操作，有可能被 TZ 轴驱动部分
夹住手。
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