NXT-II 机械手册 - 第643页

9. 调整 QD145-21 616 NXT II 机械手册 9.5 基座用真空传感器的灵敏度调整 1. 基座真空传感器配置在前面左侧。用于这一传感器的显示屏为两个显示屏的右面一个。 2. 持续按「S」按钮 5 秒以上显示出「 LoC」。变换显示出「 F 0」、「 LoC」。 3. 按箭头键中的任意一个显示出「UnL」，再按「s」键。解除锁定。 4. 持续按「s」键 2 秒以上后，显示出「F 0」。 …

QD145-21 9. 调整

NXT II 机械手册 615

9.4 模组用压力传感器的灵敏度调整

9.4.1 调整方法

1. 请向前方抽出要调整的模组。（请参考「5.1 模组的拉出 / 插入」。）要调整的模组在基

座的左端，而模组的左侧带有盖罩时，要将侧面的盖罩取下以腾出传感器附近的空间。

2. 模组压力传感器配置在前面左下方。这个位置上有编号的传感器有 2 个，从模组的前面

看过去位于后侧的一个为压力传感器。

3. 使用精密的一字型螺丝刀，将 MODE 开关变更到 “S1”。

4. 用螺丝刀调节 SET1 开关，使显示值为 0.40。

备注 )变更 MODE 开关的设定只能变更显示，调整 SET1 或 SET2 开关后即使开关的值不被显示

出来，调整值也会被变更。

5. 用螺丝刀将 MODE 开关变更到 “S2”。

6. 用螺丝刀调节 SET2 开关，使显示值为 0.0。

7. 为了显示出现在的真空压，将 MODE 开关调回到 “ME”。

备注 )在未显示开关值的状态下变更开关时，在显示开关值后，务必将开关值调整至正确值。

8. 在取下侧面盖罩时，先把盖罩盖上，再把模组插入原来的位置。（请参考「5.1 模组的

拉出/插入」。）

01MEC-0304Sb

3693:0

36*3:0

῵㒘य़࡯Ӵᛳ఼

῵㒘ⳳぎӴᛳ఼

9. 调整 QD145-21

616 NXT II 机械手册

9.5 基座用真空传感器的灵敏度调整

1. 基座真空传感器配置在前面左侧。用于这一传感器的显示屏为两个显示屏的右面一个。

2. 持续按「S」按钮 5 秒以上显示出「LoC」。变换显示出「F 0」、「LoC」。

3. 按箭头键中的任意一个显示出「UnL」，再按「s」键。解除锁定。

4. 持续按「s」键 2 秒以上后，显示出「F 0」。

5. 当显示屏下侧的单位显示不是「kPa」时，按下「s」键，用箭头键显示出「PA」后按

下「s」键，单位显示已经是「kPa」时不需要此操作。

备注 )设定单位时用箭头键切换「PA」和「*PA」, 在此，「*PA」的「*」表示记号已经显示

的意思。

6. 从「F 0」的状态按下箭头键后显示「F 1」，请按下「s」键，交替显示「oU1」和

「HYS」。

7. 请按「s」键。交替显示「lot」和「1_P」。

8. 请按「s」键。显示出「P_1」，请用箭头键设定为「-59.0」。

9. 请按「s」键。显示出「H_1」，请用箭头键设定为「0.000」。

10.请按「s」键。交替显示「Co1」和「SoG」。

11.请按「s」键。显示出「F_1」。

12.请按「s」键 2 秒以上，显示出当前的压力值。

13.请按「s」键 5 秒钟，交替显示「F 0」和「UnL」。

14.按箭头键中的任意一个显示出「Loc」后，请按「s」键。锁定设定。