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D4 预防性维护 7 4 个月维护 2008 年 8 月中文版 切记遵 守 ESD 规定。 ○ 覆盖 供料 器区域 可保 护供料 器组件 和贴 片头前 部。 ① 打开 应变 消除装 置。 ② 释放 带状 电缆上 方的 夹持器 。 ③ 拉出 两条 带状电 缆。 ④ 松开贴 片头 前部上 的 4 个螺 丝（使 用 3 mm 六角套 筒扳手 ），然后拆下 前部。 拧下螺 丝时 ，握住 贴片头 的前 部。 注意不 要碰 到真空 分配器 。 旋转…