1_D4 保养 - 第76页
9 维护段位器 光栅盘 D4 预防性维护 2008 年 8 月中文版 76

D4
预防性维护
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维护段位器光栅盘
2008
年
8
月中文版
维护段位器光栅盘需要下列工具和材料。
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实验室手套
无水乙醇
无纺布
脱脂棉签
Microtips (棉签)
1.1 mm 的钻头
1.4 mm 的钻头
Fin Grease 喷剂式润滑脂
UNISILKON L250L
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段位器光栅盘虹吸盘
SIPLACE 段位器光栅盘维护:
12 段位器C&P 贴片头(部件号:00375681-01)
①
检查薄膜是否损坏。
如果薄膜损坏,则将此段位器光栅盘送到SIPLACE 段位器光栅盘维修站进行维修。
②
向适当容器喷少许Teflon 润滑脂。
用 Teflon 润滑脂打湿脱脂棉签。
切勿用喷剂罐直接喷洒Teflon 润滑脂,以免喷洒过多损坏贴片头。
仅使用无水乙醇进行清洁工作。不要使用消毒用酒精,否则,增量盘上将会出现污点。
请勿使用可溶硅清洁剂。
③沿防转动元件的连杆擦动稍微蘸湿的脱脂棉签。
④检查切换圈在光栅盘中是否可以轻松移动。
移动的装置绝对不能急动或急停。
如果润滑之后移动有粘滞,则将此段位器光栅盘送至SIPLACE 段位器光栅盘维修站进行维
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①顺时针转动纵向真空孔内的1.4 mm 钻头以清除污物。
转动钻头,清除孔内的污物。
②使用1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。
执行此步骤时须戴上实验室手套。
③检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。
如果损坏,则进行更换。
③用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
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