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D4 预防性维护 9 维护段位器 光栅盘 2008 年 8 月中文版 ① 顺时 针转 动纵向 真空 孔内的 1.4 mm 钻 头以 清除 污物。 转动钻 头， 清除孔 内的污 物。 ② 使 用 1 .1 m m 钻 头清除 横向真 空孔 内的 污物 。 执行此 步骤 时须戴 上实验 室手 套。 ③ 检查 段位 器光栅 盘虹 吸盘是 否损坏 。 如果损 坏， 则进行 更换。 ③ 用干 无纺 布清洁 段位 器光栅 盘虹吸 盘。 77