80S-2080F480F4-680F5 User’s Manual - 第449页
9 Maintenance SIPLACE 80S-20/F4/F4-6/F5 User’s Manual Edition 03/98 from Software Vers ion SR.404.xx 9 - IV
SIPLACE 80S-20/F4/F4-6/F5 User’s Manual 9 Maintenance
Edition 03/98 from Software Version SR.404.xx
9 - III
9.6.5.2 Maintenance of the Vacuum Nozzle and O-Rings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 67
9.6.6 Maintenance of the Nozzles. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 70
9.6.6.1 Preparatory Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 70
9.6.6.2 Checking and Maintaining the Nozzles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 71
9.6.6.3 Replacing the Diaphragm of the Nozzles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 73
9.6.6.4 Inserting Nozzles into the Nozzle Changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 74
9.6.7 IC-Head Nozzle Survey . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 75
9.7 6x Revolver Head (8000) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 77
9.7.1 Overview of Star Stations 1 - 6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 78
9.7.2 Sleeve. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 79
9.7.2.1 Removing the Sleeve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 79
9.7.2.2 Installing the Sleeve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 79
9.7.2.3 Sleeve Vacuum Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 80
9.7.2.4 Cleaning Sleeve and Segment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 80
9.7.2.5 Replacing the Snap O-Ring in the Sleeve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 82
9.7.3 Changing the Nozzle Manually. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 83
9.7.4 Replacing the Silencer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 84
9.7.5 Greasing the Z Drive Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 85
9.7.6 Cleaning Vacuum/Forced Air Valves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 86
9.7.6.1 Removing the Valve Plunger . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 86
9.7.6.2 Cleaning the Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 87
9.7.6.3 Replacing the safety O-ring on the valve plunger. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 89
9.7.6.4 Error Messages that Suggest that the Valves are Moving Too Freely . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 90
9.7.7 6x Revolver Head Nozzle Survey. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 90
9.8 Wafflepack Changer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 91
9.8.1 Cleaning the Air Filter of the Electronic Plug-in Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 91
9.8.2 Maintaining the Wafflepack Changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 92
9.8.3 Preparatory Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 93
9.8.4 Maintenance of the Guide Rails . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 93
9.8.5 Maintenance of the Spherical Rotating Liners of the Z-Lift Axis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 93
9.8.6 Concluding Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 95
9.9 Camera Systems and Coplanarity Laser Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 97
9.9.1 PCB Camera System in the SIPLACE 80S-20, 80F4/F4-6 or 80F5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 97
9.9.2 Component Camera System at the 12x Revolver Head (SIPLACE 80S-20 and 80F4) . . .9 - 97
9.9.3 Component Camera System at the 6x Revolver Head (SIPLACE 80F4-6, 80F5) . . . . . . . 9 - 97
9.9.4 Component Camera Systems for the IC Head (SIPLACE 80F4, 80F4-6 or 80F5) . . . . . . . 9 - 97
9.9.4.1 Cleaning Reflecting Surfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 97
9.9.4.2 Cleaning the Glass Disk. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 98
9.9.5 Coplanarity Laser Module (SIPLACE 80F4, 80F4-6 or 80F5) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 100
9.9.5.1 Safety Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 100
9.9.5.2 Cleaning the Glass. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 101
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